Про деякі удосконалення іонного мікрозондового аналізатора

Кузема, О.С.; Кузема, П.О.

Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/35629

Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item

Title	Про деякі удосконалення іонного мікрозондового аналізатора
Other Titles	On Some Improvements of Ion Microprobe Mass Analyzer О некоторых усовершенствованиях ионного микрозондового анализатора
Authors	Кузема, О.С. Кузема, П.О.
ORCID
Keywords	Іонний зонд Магнітна призма Фокусування іонів Енергоаналізатор Мас-аналізатор Електростатична лінза Роздільна здатність Ионный зонд Магнитная призма Фокусировка ионов Энергоанализатор Масс-анализатор Электростатическая линза Разрешающая способность Ion probe Magnetic prism Ion focusing Energy analyzer Mass analyzer Electrostatic lens Resolution
Type	Article
Date of Issue	2013
URI	http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/35629
Publisher	Сумський державний університет
License
Citation	Кузема, О.С. Про деякі удосконалення іонного мікрозондового аналізатора [Текст] / О.С. Кузема, П.О. Кузема // Журнал нано- та електронної фізики. - 2013. - Т.5, №3, Ч.ІІ. - 03045.
Abstract	Розглянуто іонно-оптичні властивості і характеристики іонного мікрозондового аналізатора, в якому сепарацію первинного іонного пучка за масами виконує секторна магнітна призма, а в системі аналізу вторинних іонів у якості енергоаналізатора застосовано сферичний конденсатор, що формує паралельний іонний пучок на вході в мас-аналізатор. Це дозволило покращити параметри приладу і зменшити його габарити. При цитуванні документа, використовуйте посилання http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/35629 Рассмотрены ионно-оптические свойства и характеристики ионного микрозондового анализатора, в котором сепарацию первичного пучка по массам осуществляет секторная магнитная призма, а в си- стеме анализа вторичных ионов в качестве энергоанализатора использован сферический конденсатор, формирующий параллельный ионный пучок на входе в масс-анализатор. Это позволило улучшить параметры прибора и уменьшить его габариты. При цитировании документа, используйте ссылку http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/35629 It has been considered the ion-optical properties and characteristics of ion microprobe analyzer in which the primary ion beam mass separation is realized by the magnetic prism, and the beam spherical capacitor is used in the secondary ion analyzing system as energy analyzer which form parallel ion beam at the mass analyzer inlet. It has allowed to improve the instrument parameters and to scale down its overall dimension. When you are citing the document, use the following link http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/35629
Appears in Collections:	Журнал нано- та електронної фізики (Journal of nano- and electronic physics)