Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/38265
Title: Морфологія та структурні властивості плівок ZnO отриманих методом спрей-піролізу
Authors: Dobrozhan, Oleksandr Anatoliiovych 
Opanasiuk, Anatolii Serhiiovych 
Keywords: тонкі плівки
тонкие пленки
thin films
структурні властивості
структурные свойства
structure properties
Issue Year: 2014
Publisher: Астропринт
Citation: Доброжан, А.А. Морфологія та структурні властивості плівок ZnO отриманих методом спрей-піролізу [Текст] / А.А. Доброжан, А.С. Опанасюк // Сенсорна електроніка та мікросистемні технології: 6-та Міжнародна науково-технічна конференція (з виставкою розробок та промислових зразків сенсорів) "СЕМСT-6", Україна, Одеса, 29.09 - 03.10.2014 р. - Одеса: Астропринт, 2014. - C. 86.
Abstract: В останні десятиліття плівкове матеріалознавство почало вивчення нового класу електронних матеріалів – напівпровідникових оксидів. Серед них особливу увагу привертає оксид цинку (ZnO), який характеризується термічною, радіаційною та хімічною стабільністю в атмосфері, широкою забороненою зоною (Eg = 3.37 еВ) та великою енергією утворення екситонів (60 меВ). Завдяки поєднанню оптичних, електричних та п’єзоелектричних властивостей оксид цинку інтенсивно використовується в газових сенсорах, вимірювачах тиску, біосенсорах. Серед широкого спектру методів отримання ZnO особливу увагу привертає метод спрей-піролізу, який є технологічною, дешевою, безвакуумною технікою отримання якісних плівок для приладового використання. Слід відмітити, що на основні властивості плівок досить значний вплив чинить температура підкладки (Ts). Це і обумовило мету роботи, дослідження впливу температури підкладки на морфологію та структурні властивості тонких плівок ZnO нанесених методом спрей-піролізу.
URI: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/38265
Type: Theses
Appears in Collections:Наукові видання (ЕлІТ)

Views
Other59
Canada1
Germany6
France1
United Kingdom1
Italy1
South Korea3
Romania1
Russia1
Ukraine9
United States3
Downloads
Other14
China2
Germany2
France1
Romania1
Russia1
Ukraine10
United States3


Files in This Item:
File Description SizeFormatDownloads 
Dobrozhan_Morfolohiya_ta_strukturni_vlastyvosti_plivok_ZnO_otrymanykh_metodom_sprey-pirolizu.pdf231.81 kBAdobe PDF34Download


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.