Диагностика реконструкции поверхности золота методами многоугловой эллипсометрии

Abstract

У роботі розглядаються зміна структури та оптичних властивостей плівок золота. Експериментально показано, що зміни структури поверхні достовірно фіксуються методами багатокутової Мюллерполяриметрії. Проаналізовано вплив поверхні плівки золота на параметри моделі анізотропного середовища. Показано, що для достовірної класифікації плівок досить проводити вимірювання при куті, при якому різниця в параметрах анізотропії максимальна.

В работе рассматриваются изменения структуры и оптических свойств пленок золота. Экспериментально показано, что изменения структуры поверхности достоверно фиксируются методами многоугловой Мюллер-поляриметрии. Проанализировано влияние поверхности пленки золота на параметры модели анизотропной среды. Показано, что для достоверной классификации пленок достаточно проводить измерения при угле, при котором разница в параметрах анизотропии максимальна.

The paper deals with gold films structure and optical properties changes. It is experimentally shown that the surface structure changes are reliably detected by the multiangular Mueller polarimetry method. The influence of the gold film surface on the anisotropic medium model parameters is discussed. It is shown that for reliable films classification it is sufficient to measure parameters of the anisotropic medium at an angle at which the difference in the anisotropy parameters is maximized.