Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/39070
Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item
Title Закономерности формирования структуры покрытий CrN, полученных вакуумно-дуговым испарением в атмосфере азота
Other Titles Закономірності формування структури покриттів CrN, отриманих вакуумно-дуговим випаровуванням в атмосфері азоту
Regularities of Structure Formation of Coatings CrN, Obtained by Vacuum Arc Evaporation in a Nitrogen Atmosphere
Authors Соболь, О.В.
Андреев, А.А.
Столбовой, В.А.
Пинчук, Н.В.
Мейлехов, А.А.
Keywords Вакуумно-дуговой метод
Давление
CrN
Текстура
Субструктура
Интенсивность
Вакуумно-дугового метод
Тиск
CrN
Текстура
Субструктура
Інтенсивність
Розмір кристалітів
Vacuum-arc method
Pressure
CrN
Texture
Substructure
Intensity
Size of crystallites
Type Article
Date of Issue 2015
URI http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/39070
Publisher Сумский государственный университет
License
Citation О.В. Соболь, А.А. Андреев, В.А. Столбовой, и др., Ж. нано- электрон. физ. 7 № 1, 01026 (2015)
Abstract Розглянуто питання структурної інженерії покриттів системи Cr-N, отриманих вакуумно-дуговим випаровуванням катода Cr в азотній атмосфері. В якості змінюваних фізико-технологічних параметрів використовувалися: тиск азотної атмосфери (3,5…48) 10 – 4 Торр і негативний потенціал зсуву, що подається на підкладку в постійному (Uip – 120 В) і імпульсному (Uip – 1200 В) режимах. Збільшення тиску без імпульсного впливу дозволяє переходити від фази Cr + Cr2N до фази текстурованих кристалітів CrN з віссю [111]. Перехід від металевої фази до нитридної супроводжується зменшенням середнього розміру кристалітів. Додаткова подача імпульсного потенціалу дозволяє інтенсифікувати процес утворення нітридів і стимулює при високих тисках формування радіаційностійкої текстури з віссю [110].
Рассмотрены вопросы структурной инженерии покрытий системы Cr-N, полученных вакуумно- дуговым испарением катода Cr в азотной атмосфере. В качестве изменяемых физико-технологических параметров использовались: давление азотной атмосферы (3,5…48) 10 – 4 Торр и отрицательный потенциал смещения, подаваемый на подложку в постоянном (Ub – 120 В) и импульсном (Uip – 1200 В) режимах. Увеличение давления без импульсного воздействия позволяет переходить от Cr + Cr2N фаз к текстурированным кристаллитам CrN фазы с осью [111]. Переход от металлической фазы к нитридной сопровождается уменьшением среднего размера кристаллитов. Дополнительная подача импульсного потенциала позволяет интенсифицировать процесс образования нитридов и стимулирует при высоких давлениях формирование радиационно-стойкой тестуры с осью [110].
The questions of structural engineering of Cr-N system coatings produced by vacuum arc evaporation of Cr cathode in a nitrogen atmosphere are considered. As the variable physical and technological parameters we have used the following ones: pressure of nitrogen atmosphere (3.5…48) 10–4 Torr and negative bias potential applied to the substrate in constant (Ub – 120 V) and pulse (Uip – 1200 V) modes. Increase in the pressure without pulse action allows to transfer from Cr + Cr2N phase to phase of textured CrN crystallites with [111] axis. The transition from the metallic phase to the mechanical nitride is accompanied by a decrease in the average size of crystallites. Additional supply of impulse capacity allows to intensify the process of formation of nitrides and stimulates formation at high pressure of radiationresistant texture units with the [110] axis.
Appears in Collections: Журнал нано- та електронної фізики (Journal of nano- and electronic physics)

Views

Canada Canada
1
China China
7
Egypt Egypt
1
Finland Finland
1
France France
2
Germany Germany
6
Hungary Hungary
1
Japan Japan
1
Lithuania Lithuania
1
Netherlands Netherlands
1912
Russia Russia
1
Singapore Singapore
1
Sweden Sweden
1
Ukraine Ukraine
449
United Kingdom United Kingdom
3825
United States United States
7650
Unknown Country Unknown Country
15

Downloads

China China
4
France France
2
Germany Germany
7651
Israel Israel
1
Russia Russia
1
Ukraine Ukraine
409
United Kingdom United Kingdom
1
United States United States
1
Unknown Country Unknown Country
4
Uzbekistan Uzbekistan
3

Files

File Size Format Downloads
Sobol.pdf 482,43 kB Adobe PDF 8077

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.