Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/39083
Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item
Title Структурная инженерия многослойной системы TiN / CrN, полученной вакуумно-дуговым испарением
Other Titles Structural Engineering of Multilayer TiN / CrN System Obtained by the Vacuum Arc Evaporation
Структурна інженерія багатошарової системи TiN / CrN, отриманої вакуумно-дуговим випаровуванням
Authors Соболь, О.В.
Андреев, А.А.
Горбань, В.Ф.
Столбовой, В.А.
Пинчук, Н.В.
Мейлехов, А.А.
ORCID
Keywords Вакуумно-дуговой метод
Давление
Потенциал смещения
CrN
TiN
Текстура
Субструктура
Микродеформация
Размер кристаллитов
Вакуумно-дуговий метод
Тиск
Потенціал зсуву
CrN
TiN
Текстура
Субструктура
Мікродеформація
Розмір кристалітів
Vacuum-arc method
Pressure
Bias potential
CrN
TiN
Texture
Substructure
Microstrain
Size of crystallites
Type Article
Date of Issue 2015
URI http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/39083
Publisher Сумский государственный университет
License
Citation О.В. Соболь, А.А. Андреев, В.Ф. Горбань, и др., Ж. нано- электрон. физ. 7 № 1, 01034 (2015)
Abstract Методами рентгенівської дифрактометрії, електронної мікроскопії та мікроіндентування досліджені фазовий склад, структура, субструктура і твердість вакуумно-дугових багатошарових покриттів системи TiN / CrN, отриманих в інтервалі тиску азоту 1·10 – 5 ... 5·10 – 3Торр з подачею постійного та імпульсного негативного потенціалу зсуву. Встановлено формування двохфазного стану з переважним орієнтуванням зростання кристалітів при високому тиску (1…5)·10 – 3 Торр та подачі негативного постійного потенціалу зсуву Uпп = – 20 В – вісь текстури [100], при – 230 В – вісь текстури [111]. Ґрунтуючись на дослідженнях субструктурного стану, встановлен зв’язок переходу в надтвердий (до 57 ГПа) стан зі зменшенням мікродеформації та розміру кристалітів у TiN шарах.
Методами рентгеновской дифрактометрии, электронной микроскопии и микроиндентирования исследованы фазовый состав, структура, субструктура и твердость вакуумно-дуговых многослойных покрытий системы TiN / CrN, полученных в интервале давления азота 1·10 – 5…5·10 – 3 Торр при подаче постоянного и импульсного отрицательного потенциала смещения. Установлено формирование двухфазного состояния с преимущественной ориентацией роста кристаллитов. При высоком давлении (1…5)·10 – 3 Торр и подаче отрицательного постоянного потенциала смещения: Uпп = – 20 В – ось тек- стуры [100], при – 230 В – ось текстуры [111]. Основываясь на исследованиях субструктурного состоя- ния, установлена связь перехода в сверхтвердое (до 57 ГПа) состояние с уменьшением микродеформации и размера кристаллитов в TiN слоях.
By the X-ray diffraction, electron microscopy, and microindentation methods we have investigated the phase composition, structure, substructure and hardness of vacuum arc multilayer coatings of TiN / CrN system obtained in the range of nitrogen pressure of 1·10–5 ... 5·10–3 Torr when applying continuous and pulsed negative bias potential. Formation of two-phase state with a preferred orientation of the crystallite growth was established at high pressure of (1 ... 5)·10–3 Torr and feeding of negative DC bias potential: Ub = – 20 V – texture axis [100], at – 230 V – texture axis [111]. Based on the studies of substructural state, connection of the transition to the superhard (57 GPa) state with decrease in the crystallite size and microstrain in TiN layers was established.
Appears in Collections: Журнал нано- та електронної фізики (Journal of nano- and electronic physics)

Views

Canada Canada
1
China China
11968572
Finland Finland
1
France France
3
Germany Germany
5
Greece Greece
1
Hungary Hungary
1
Ireland Ireland
22025
Italy Italy
1
Japan Japan
2
Lithuania Lithuania
1
Netherlands Netherlands
1101
Russia Russia
1
Singapore Singapore
1
Sweden Sweden
1
Thailand Thailand
3
Ukraine Ukraine
793377
United Kingdom United Kingdom
279145
United States United States
2100475
Unknown Country Unknown Country
793376

Downloads

Belarus Belarus
3
Bulgaria Bulgaria
1
China China
15
France France
2
Germany Germany
22020
India India
1
Ireland Ireland
1
Japan Japan
1
Portugal Portugal
1
Romania Romania
1
Russia Russia
2
Slovakia Slovakia
1
Ukraine Ukraine
793378
United Kingdom United Kingdom
22020
United States United States
2100475
Unknown Country Unknown Country
279148
Uzbekistan Uzbekistan
6

Files

File Size Format Downloads
Sobol_Andreev.pdf 562,88 kB Adobe PDF 3217076

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.