Створення оригінальної системи нанопозиціювання для скануючої зондової мікроскопії

Попова, О.В.; Горячко, А.М.; Сидоров, Р.О.; Мельник, П.В.; Коваль, І.П.; Находкін, М.Г.

Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/39852

Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item

Title	Створення оригінальної системи нанопозиціювання для скануючої зондової мікроскопії
Authors	Попова, О.В. Горячко, А.М. Сидоров, Р.О. Мельник, П.В. Коваль, І.П. Находкін, М.Г.
ORCID
Keywords	зондові мікроскопи зондовые микроскопы probe microscopes п’єзосканер пьезосканер piezo scanner
Type	Conference Papers
Date of Issue	2014
URI	http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/39852
Publisher	Сумський державний університет
License
Citation	Створення оригінальної системи нанопозиціювання для скануючої зондової мікроскопії [Текст] / О.В. Попова, А.М. Горячко, Р.О. Сидоров та ін. // Фізика, електроніка, електротехніка : матеріали та програма науково-технічної конференції, м. Суми, 21-26 квітня 2014 р. / Відп. за вип. С.І. Проценко. - Суми : СумДУ, 2014. - С. 148.
Abstract	Для роботи зондових мікроскопів необхідно контролювати робочу відстань зонд-зразок і здійснювати переміщення зонду в площині зразка з високою точністю. Відомі на теперішній час системи нанопозиціювання є досить дорогими у виготовленні, тому метою даної роботи була розробка оригінальної системи нанопозиціювання, процес виготовлення якої спрощується та стає набагато дешевшим, оскільки використовуються лінійні елементи.
Appears in Collections:	Наукові видання (ЕлІТ)