Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/40792
Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item
Title Отримання шарів sic шляхом магнетронного розпилення складеної мішені графіт-кремній
Authors Zahaiko, Inna Volodymyrivna
Korniushchenko, Hanna Serhiivna
Perekrestov, Viacheslav Ivanovych
Keywords магнетронне розпилення
магнетронное распыление
magnetron sputtering
карбід кремнію
карбид кремния
silicon carbide
кремній-графітова мішень
кремний-графитовая мишень
silicon-graphite target
Type Conference Papers
Date of Issue 2015
URI http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/40792
Publisher Сумський державний університет
Citation Загайко, І.В. Отримання шарів sic шляхом магнетронного розпилення складеної мішені графіт-кремній [Текст] / І.В. Загайко, А.С. Корнющенко, В.І. Перекрестов // Фізика, електроніка, електротехніка: матеріали та програма науково-технічної конференції, м. Суми, 20-25 квітня 2015 р. / Відп. за вип. С.І. Проценко. — Суми: СумДУ, 2015. — С. 102.
Abstract Карбід кремнію давно відомий напівпровідниковий матеріал з унікальним сполученням в ньому фізичних та хімічних властивостей, що робить його перспективним для використання в екстремальних умовах. Відомо, що SiC має більш ніж 230 кристалографічних модифікацій, та найбільш стійкими являються 3С-SiC, 4H-SiC і 6H-SiC. Але при отриманні конденсатів карбіду кремнію виникає ряд проблем, пов’язаних зі слабкою летючістю та високою енергією десорбції складових компонентів.
Appears in Collections: Наукові видання (ЕлІТ)

Views

Canada Canada
1
France France
1
Germany Germany
5
Israel Israel
1
Italy Italy
1
Russia Russia
4
Ukraine Ukraine
3
United Kingdom United Kingdom
3
United States United States
1
Unknown Country Unknown Country
16

Downloads

China China
7
Germany Germany
2
Serbia Serbia
1
Ukraine Ukraine
4
United States United States
1
Unknown Country Unknown Country
7

Files

File Size Format Downloads
Zahayko_magnetron sputtering.pdf 259,05 kB Adobe PDF 22

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.