Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/40985
Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item
Title Фазовий склад тонких плівок Ni і Cu як компонент функціональних матеріалів міроелектроніки
Authors Kalinichenko, Serhii Mykolaiovych
Odnodvorets, Larysa Valentynivna  
ORCID http://orcid.org/0000-0002-8112-1933
Keywords тонкие пленки
тонкі плівки
thin film
електронографічні дослідження
электронографические исследования
еlectron diffraction studies
термообробка
термообработка
heat treatment
Type Conference Papers
Date of Issue 2015
URI http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/40985
Publisher Сумський державний університет
License
Citation Калініченко, С.М. Фазовий склад тонких плівок Ni і Cu як компонент функціональних матеріалів міроелектроніки [Текст] / С.М. Калініченко, Л.В. Однодворець // Фізика, електроніка, електротехніка: матеріали та програма науково-технічної конференції, м. Суми, 20-25 квітня 2015 р. / Відп. за вип. С.І. Проценко. — Суми: СумДУ, 2015. — С. 148.
Abstract Дослідження процесів фазоутворення та їх вплив на електрофізичні властивості багатошарових плівкових матеріалів на основі Ni і Cu знаходяться в полі зору дослідників, оскільки такі матеріали є перспективними для використання в мікроелектроніці як замінників дорогих благородних металів при виготовленні чутливих елементів терморезисторів і низькоомних резисторів та струмопровідних доріжок.
Appears in Collections: Наукові видання (ЕлІТ)

Views

Canada Canada
1
China China
1
Finland Finland
1674593
France France
1
Germany Germany
5
Greece Greece
1
Ireland Ireland
16497
Lithuania Lithuania
1
Netherlands Netherlands
750
Russia Russia
1
Singapore Singapore
1
Sweden Sweden
1
Ukraine Ukraine
185965
United Kingdom United Kingdom
94482
United States United States
1674597
Unknown Country Unknown Country
17

Downloads

China China
3
Finland Finland
1
France France
1
Germany Germany
1674595
Lithuania Lithuania
1
Russia Russia
1
Singapore Singapore
1
Ukraine Ukraine
185966
United Kingdom United Kingdom
1
United States United States
1376867
Unknown Country Unknown Country
7

Files

File Size Format Downloads
Kalinichenko_heat treatment.pdf 373.28 kB Adobe PDF 3237444

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.