Фазовий склад тонких плівок Ni і Cu як компонент функціональних матеріалів міроелектроніки

Калініченко, Сергій Миколайович; Однодворець, Лариса Валентинівна

Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/40985

Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item

Title	Фазовий склад тонких плівок Ni і Cu як компонент функціональних матеріалів міроелектроніки
Authors	Kalinichenko, Serhii Mykolaiovych Odnodvorets, Larysa Valentynivna
ORCID	http://orcid.org/0000-0002-8112-1933
Keywords	тонкие пленки тонкі плівки thin film електронографічні дослідження электронографические исследования еlectron diffraction studies термообробка термообработка heat treatment
Type	Conference Papers
Date of Issue	2015
URI	http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/40985
Publisher	Сумський державний університет
License
Citation	Калініченко, С.М. Фазовий склад тонких плівок Ni і Cu як компонент функціональних матеріалів міроелектроніки [Текст] / С.М. Калініченко, Л.В. Однодворець // Фізика, електроніка, електротехніка: матеріали та програма науково-технічної конференції, м. Суми, 20-25 квітня 2015 р. / Відп. за вип. С.І. Проценко. — Суми: СумДУ, 2015. — С. 148.
Abstract	Дослідження процесів фазоутворення та їх вплив на електрофізичні властивості багатошарових плівкових матеріалів на основі Ni і Cu знаходяться в полі зору дослідників, оскільки такі матеріали є перспективними для використання в мікроелектроніці як замінників дорогих благородних металів при виготовленні чутливих елементів терморезисторів і низькоомних резисторів та струмопровідних доріжок.
Appears in Collections:	Наукові видання (ЕлІТ)