Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/40985
Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item
Title Фазовий склад тонких плівок Ni і Cu як компонент функціональних матеріалів міроелектроніки
Authors Kalinichenko, Serhii Mykolaiovych
Odnodvorets, Larysa Valentynivna
Keywords тонкие пленки
тонкі плівки
thin film
електронографічні дослідження
электронографические исследования
еlectron diffraction studies
термообробка
термообработка
heat treatment
Type Conference Papers
Date of Issue 2015
URI http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/40985
Publisher Сумський державний університет
License
Citation Калініченко, С.М. Фазовий склад тонких плівок Ni і Cu як компонент функціональних матеріалів міроелектроніки [Текст] / С.М. Калініченко, Л.В. Однодворець // Фізика, електроніка, електротехніка: матеріали та програма науково-технічної конференції, м. Суми, 20-25 квітня 2015 р. / Відп. за вип. С.І. Проценко. — Суми: СумДУ, 2015. — С. 148.
Abstract Дослідження процесів фазоутворення та їх вплив на електрофізичні властивості багатошарових плівкових матеріалів на основі Ni і Cu знаходяться в полі зору дослідників, оскільки такі матеріали є перспективними для використання в мікроелектроніці як замінників дорогих благородних металів при виготовленні чутливих елементів терморезисторів і низькоомних резисторів та струмопровідних доріжок.
Appears in Collections: Наукові видання (ЕлІТ)

Views

Canada Canada
1
China China
1
Finland Finland
1
France France
1
Germany Germany
5
Russia Russia
1
Ukraine Ukraine
94
United Kingdom United Kingdom
1
United States United States
1
Unknown Country Unknown Country
17

Downloads

China China
3
Finland Finland
1
France France
1
Germany Germany
2
Russia Russia
1
Ukraine Ukraine
95
Unknown Country Unknown Country
7

Files

File Size Format Downloads
Kalinichenko_heat treatment.pdf 373,28 kB Adobe PDF 110

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.