Analysis of the Influence of Deposition Conditions on the Structure of the Coating Nb-Al-N

Ivashchenko, V.I.; Skrynskiy, P.L.; Rogoz, V.N.; Kupchishin, A.I.; Węgierek, P.

Будь ласка, використовуйте цей ідентифікатор, щоб цитувати або посилатися на цей матеріал: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/42768

Використовуйте наступні посилання для розповсюдження матеріалу в соціальних мережах: Рекомендувати цей матеріал

Назва	Analysis of the Influence of Deposition Conditions on the Structure of the Coating Nb-Al-N
Автори	Ivashchenko, V.I. Skrynskiy, P.L. Rogoz, V.N. Kupchishin, A.I. Węgierek, P.
ORCID
Ключові слова	XRD Nanohardness Nb-Al-N
Вид документа	Тези доповідей
Дати випуску	2015
URI (Уніфікований ідентифікатор ресурсу)	http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/42768
Видавець	Sumy State University
Ліцензія	Copyright не зазначено
Бібліографічний опис	Analysis of the Influence of Deposition Conditions on the Structure of the Coating Nb-Al-N [Текст] / V.I. Ivashchenko, P.L. Skrynskiy, V.V. Rogoz et al. // Nanomaterials: Applications & Properties (NAP-2015) : Proceedings of the International Conference. — Sumy : Sumy State University, 2015. — V.4, No1. — 01NTF13.
Короткий огляд (реферат)	Nanocomposite Nb-Al-N films prepared by magnetron sputtering have been studied. It has been found that, in the films, there are two stable crystalline structural states, namely, NbNz and B1-Nb1 – xAlxNyO1 – y, and an amorphous like component related to aluminum oxynitride upon reactive magnetron sputtering. The substructure characteristics are sensitive to the current supplied to an Al target and related to the Knoop nanohardness and hardness, which change within in the ranges of 29-33.5 and 46-48 GPa, respectively. Ab initio calculations for the NbNz and Nb2AlN phases and NbN / AlN heterostructures have been performed to interpret the obtained results for the first time.
Розташовується у зібраннях:	Наукові видання (ЕлІТ)