Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/42934
Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item
Title Синтез епітаксіальних шарів нітриду індію на підкладці поруватого фосфіду індію
Other Titles Синтез эпитаксиальных слоев нитрида индия на подложке пористого фосфида индия
Synthesis of Indium Nitride Epitaxial Layers on a Substrate of Porous Indium Phosphide
Authors Сичікова, Я.О.
ORCID
Keywords Нітрид індію
Поруватий фосфід індію
Буферний шар
Епітаксія
Електрохімічне травлення
Період ґратки
Нитрид индия
Пористый фосфид индия
Буферный слой
Эпитаксия
Электрохимическое травление
Период решетки
Indium nitride
Porous indium phosphide
Buffer layer epitaxy
Electrochemical etching
Lattice constant
Type Article
Date of Issue 2015
URI http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/42934
Publisher Сумський державний університет
License
Citation Я.О. Сичікова, Ж. нано- електрон. фіз. 7 № 3, 03017 (2015)
Abstract У роботі представлено методику отримання плівки InN на поруватих підкладках InP методом радикало-променевої гетеруючої епітаксії. За результатами оже-спектроскопії, товщина плівок InN склала від 100 нм до 0,5 мкм в залежності від технологічних умов травлення.
В работе представлена методика получения пленки InN на пористых подложках InP методом радикало-лучевой геттерирующей эпитаксии. По результатам оже-спектроскопии, толщина пленок InN составила от 100 нм до 0,5 мкм в зависимости от технологических условий травления.
The paper presents a technique to obtain InN films on porous InP substrates by radical-beam gettering epitaxy. According to the results of the Auger spectroscopy, InN film thickness ranged from 100 nm to 0.5 microns depending on the etching conditions.
Appears in Collections: Наукові видання (ЕлІТ)

Views

Canada Canada
1
China China
2933
France France
1
Germany Germany
491
Greece Greece
5867
Hong Kong SAR China Hong Kong SAR China
1
Ireland Ireland
23221
Italy Italy
1
Lithuania Lithuania
1
Ukraine Ukraine
299169
United Kingdom United Kingdom
150562
United States United States
1678687
Unknown Country Unknown Country
299168

Downloads

China China
3
France France
2
Germany Germany
2
Indonesia Indonesia
1
Lithuania Lithuania
1
Mexico Mexico
1
Netherlands Netherlands
1
Ukraine Ukraine
1678687
United Kingdom United Kingdom
1
United States United States
2460104
Unknown Country Unknown Country
1

Files

File Size Format Downloads
Sychikova.pdf 283.99 kB Adobe PDF 4138804

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.