Please use this identifier to cite or link to this item:
http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/42934
Or use following links to share this resource in social networks:
Tweet
Recommend this item
Title | Синтез епітаксіальних шарів нітриду індію на підкладці поруватого фосфіду індію |
Other Titles |
Синтез эпитаксиальных слоев нитрида индия на подложке пористого фосфида индия Synthesis of Indium Nitride Epitaxial Layers on a Substrate of Porous Indium Phosphide |
Authors |
Сичікова, Я.О.
|
ORCID | |
Keywords |
Нітрид індію Поруватий фосфід індію Буферний шар Епітаксія Електрохімічне травлення Період ґратки Нитрид индия Пористый фосфид индия Буферный слой Эпитаксия Электрохимическое травление Период решетки Indium nitride Porous indium phosphide Buffer layer epitaxy Electrochemical etching Lattice constant |
Type | Article |
Date of Issue | 2015 |
URI | http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/42934 |
Publisher | Сумський державний університет |
License | |
Citation | Я.О. Сичікова, Ж. нано- електрон. фіз. 7 № 3, 03017 (2015) |
Abstract |
У роботі представлено методику отримання плівки InN на поруватих підкладках InP методом радикало-променевої гетеруючої епітаксії. За результатами оже-спектроскопії, товщина плівок InN
склала від 100 нм до 0,5 мкм в залежності від технологічних умов травлення. В работе представлена методика получения пленки InN на пористых подложках InP методом радикало-лучевой геттерирующей эпитаксии. По результатам оже-спектроскопии, толщина пленок InN составила от 100 нм до 0,5 мкм в зависимости от технологических условий травления. The paper presents a technique to obtain InN films on porous InP substrates by radical-beam gettering epitaxy. According to the results of the Auger spectroscopy, InN film thickness ranged from 100 nm to 0.5 microns depending on the etching conditions. |
Appears in Collections: |
Наукові видання (ЕлІТ) |
Views
![Canada](/flags/ca.gif)
1
![China](/flags/cn.gif)
2933
![France](/flags/fr.gif)
1
![Germany](/flags/de.gif)
491
![Greece](/flags/gr.gif)
5867
![Hong Kong SAR China](/flags/hk.gif)
1
![Ireland](/flags/ie.gif)
23221
![Italy](/flags/it.gif)
1
![Lithuania](/flags/lt.gif)
1
![Ukraine](/flags/ua.gif)
299169
![United Kingdom](/flags/gb.gif)
150562
![United States](/flags/us.gif)
1678687
![Unknown Country](/flags/--.gif)
299168
Downloads
![China](/flags/cn.gif)
3
![France](/flags/fr.gif)
2
![Germany](/flags/de.gif)
2
![Indonesia](/flags/id.gif)
1
![Lithuania](/flags/lt.gif)
1
![Mexico](/flags/mx.gif)
1
![Netherlands](/flags/nl.gif)
1
![Ukraine](/flags/ua.gif)
1678687
![United Kingdom](/flags/gb.gif)
1
![United States](/flags/us.gif)
2460104
![Unknown Country](/flags/--.gif)
1
Files
File | Size | Format | Downloads |
---|---|---|---|
Sychikova.pdf | 283,99 kB | Adobe PDF | 4138804 |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.