Нанотрубки оксида индия полученные методом радикало-лучевой эпитаксии

Abstract

У роботі пропонується оригінальний метод отримання вбудованих нанотрубок оксиду індію в пористу поверхню InP. У потоці атомарного кисню проводиться відпал поруватих зразків InP, отриманих методом електрохімічного травлення. В результаті відпалу внутрішня поверхня стінок кожної пори покривалася киснем по всій її довжині від основи (стовпчика фосфіду індію) до поверхні зразка, утворюючи кисневмісні нанотрубки, що повторюють форму пор. За допомогою методу енергодисперсійного аналізу рентгенівських променів (EDAX) був вивчений хімічний склад поверхні отриманих зразків. Також методом рентгенівської дифракції вивчалася структура отриманих зразків.

В работе предлагается оригинальный метод получения встроенных нанотрубок оксида индия в пористую поверхность InP. В потоке атомарного кислорода проводен отжиг пористых образцов InP, полученных методом электрохимического травления. В результате отжига внутренняя поверхность стенок каждой поры покрывалась кислородом по всей её длине от основания (столбика фосфида индия) до поверхности образца, образуя кислородосодержащие нанотрубки, повторяющие форму пор. При помощи метода энергодисперсионного анализа рентгеновских лучей (EDAX) был изучен химический состав поверхности полученных образцов. Также методом рентгеновской дифракции изучалась структура полученных образцов.

We propose an original method for producing indium oxide nanotubes embedded in a porous InP surface. Annealing of porous InP samples obtained by electrochemical etching is performed in a flux of atomic oxygen. After annealing the inner surface of the walls of each pore was covered with oxygen throughout its length from the base (indium phosphide column) to the sample surface forming oxygen-containing nanotubes which mimic the shape of pores. Chemical composition of the surface of the obtained samples was studied using the method of energy dispersive X-ray analysis (EDAX). Structure of the obtained samples was also studied by the X-ray diffraction method.