Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/4346
Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item
Title Магнетронні розпилювальні системи
Authors Мулін, Д.В.
Keywords магнетронне напилення
нанесення плівок
магнетронное напыление
нанесение пленок
magnetron sputtering
pellicle deposition
Type Conference Papers
Date of Issue 2008
URI http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/4346
Publisher Видавництво СумДУ
Citation Мулін, Д.В. Магнетронні розпилювальні системи [Текст] / Д.В. Мулін // Матеріали та програма науково-технічної конференції викладачів, співробітників, аспірантів і студентів фізико-технічного факультету : присвяченої Дню науки в Україні та 60-річчю СумДУ, 21-24 квітня. — Суми : СумДУ, 2008. — Т.1. — С. 115.
Abstract
Appears in Collections: Наукові видання (ЕлІТ)

Views

Canada Canada
1
China China
2
France France
1
Germany Germany
273
Italy Italy
1
Netherlands Netherlands
7
Russia Russia
18
Turkey Turkey
4
Ukraine Ukraine
68
United States United States
39
Unknown Country Unknown Country
115

Downloads

China China
1
France France
1
Germany Germany
274
Russia Russia
2
Ukraine Ukraine
5
Unknown Country Unknown Country
119

Files

File Size Format Downloads
Матеріали ФТФ 2008 Том 1 94-167.pdf 1,24 MB Adobe PDF 402

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.