Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/45499
Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item
Title Влияние безвакуумного отжига на морфологию покрытий NbNх, NbNx : Si
Other Titles Вплив безвакуумного відпалу на морфологію покриттів NbNх, NbNx : Si
Influence of Annealing on the Morphology of the Vacuum-free Coatings NbNх, NbNx : Si
Authors Рогоз, В.Н.
Кузьменко, А.П.
Соболь, О.В.
Плющик, А.
Keywords Морфология
Твердость
Отжиг
NbNх
NbNx : Si
Фазовый и элементный состав
Морфологія
Твердість
Відпал
Фазовий та елементний склад
Morphology
Hardness
Annealing
Phase and elemental analysis
Type Article
Date of Issue 2016
URI http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/45499
Publisher Сумский государственный университет
License
Citation В.Н. Рогоз, А.П. Кузьменко, О.В. Соболь, А. Плющик, Ж. нано- электрон. физ. 8 № 2, 02019 (2016)
Abstract В работе описываются особенности изменения нитридных покрытий NbNх и легированных атомами Si NbNx : Si с добавлением примеси кремния и без него. Образцы были получены методом магнетронного осаждения при отрицательном потенциале Us = – 40 В на подложку из кремния. После осаждения проводился высокотемпературный отжиг 800 °С в атмосфере воздуха.
У роботі описуються особливості зміни покриття нітриду ніобію з додаванням домішки кремнію і без нього. Зразки були отримані методом магнетронного осадження при негативному потенціалі Us = − 40 В на підкладку з кремнію. Після осадження проводився високотемпературний відпал 800 °С в атмосфері повітря.
The paper describes the features of niobium nitride coating changes with the addition of silicon and impurities without him. Samples were prepared by magnetron sputtering at a negative potential Us = − 40 V on silicon substrate, exposed to high temperatures: 800 °C without vacuum.
Appears in Collections: Журнал нано- та електронної фізики (Journal of nano- and electronic physics)

Views

Canada Canada
1
China China
2
France France
1
Germany Germany
3
Israel Israel
1
Italy Italy
1
Kazakhstan Kazakhstan
1
Lithuania Lithuania
1
Netherlands Netherlands
1215
Russia Russia
1
Sweden Sweden
1
Ukraine Ukraine
384
United Kingdom United Kingdom
4858
United States United States
802
Unknown Country Unknown Country
14
Uzbekistan Uzbekistan
1

Downloads

France France
2
Germany Germany
3
India India
1
Kazakhstan Kazakhstan
1
Montenegro Montenegro
1
Russia Russia
2
Ukraine Ukraine
352
United Kingdom United Kingdom
1
United States United States
800
Unknown Country Unknown Country
6
Uzbekistan Uzbekistan
1

Files

File Size Format Downloads
Rogoz, Kuzmenko, Sobol’, Plyushchyk.pdf 739,65 kB Adobe PDF 1170

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.