Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/45761
Title: Електрофізичні властивості тонких плівок Ru
Authors: Lohvynov, Andrii Mykolaiovych
Распутько, Ю.В.
Keywords: тонкі плівки
тонкие пленки
thin films
електрофізичні властивості
электрофизические свойства
electrical properties
Issue Year: 2016
Publisher: Сумський державний університет
Citation: Распутько, Ю.В. Електрофізичні властивості тонких плівок Ru [Текст] / Ю.В. Распутько, А.М. Логвинов; кер. І.В. Чешко // Фізика, електроніка, електротехніка: матеріали та програма науково-технічної конференції, м. Суми, 18-22 квітня 2016 р. / Відп. за вип. С.І. Проценко. - Суми: СумДУ, 2016. - С.123.
Abstract: Нанорозмірні плівки Ru різними авторами використовуються як захисні шари завдяки своїй високій стабільності контактного опору і високій механічній твердості. У поєднанні з магнітними металами VIII групи (Co, Fe та Ni) вони розглядаються як перспективний матеріал для створення стійких функціональних структур спін-клапаного типу. Однак, надзвичайна рідкість і важкість отримання чистого Ru довгий час не дозволяли вивчити електрофізичні властивості як одношарових плівок, так і сплівів на його основі. У даній роботі наведені результати дослідження структурно-фазоого стану та електрофізичних властивостей одношарових плівок Ru у інтервалі товщин від 10 до 80 нм отриманих методом термічного осадження у вакуумі на очищені сіталові підкладки або вуглецеві плівки товщиною 20 нм.
URI: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/45761
Type: Theses
Appears in Collections:Наукові видання (ЕлІТ)

Views
Other17
Canada1
China2
Germany3
Ecuador1
France4
Mongolia1
Russia1
Ukraine8
United States1
Downloads
Other4
China2
Germany3
France1
Israel1
Portugal1
Russia1
Ukraine6
United States1


Files in This Item:
File Description SizeFormatDownloads 
Rasputko_electrical_properties.pdf464.08 kBAdobe PDF20Download


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.