Роль азота в формировании наноколонарных пленок нитрида углерода при реактивном магнетронном осаждении

Пасько, М.И.; Прудников, А.М.

Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/45830

Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item

Title	Роль азота в формировании наноколонарных пленок нитрида углерода при реактивном магнетронном осаждении
Authors	Пасько, М.И. Прудников, А.М.
ORCID
Keywords	магнетронне розпилення магнетронное распыление agnetron sputtering атоми атомы atoms
Type	Conference Papers
Date of Issue	2016
URI	http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/45830
Publisher	Сумский государственный университет
License
Citation	Пасько, М.И. Роль азота в формировании наноколонарных пленок нитрида углерода при реактивном магнетронном осаждении [Текст] / М.И. Пасько, А.М. Прудников // Фізика, електроніка, електротехніка: матеріали та програма науково-технічної конференції, м. Суми, 18-22 квітня 2016 р. / Відп. за вип. С.І. Проценко. - Суми: СумДУ, 2016. - С. 90.
Abstract	Наноструктурный нитрид углерода имеет большие перспективы применения от водородной энергетики до функциональных сенсорных элементов. Одним из методов получения такого рода материалов является магнетронное распыление. Особенностью магнетронного разряда является образование быстрых атомов и вторичных электронов в результате бомбардировки катода ионами, которые обеспечивают самоподдерживающийся разряд. Из-за большей плотности атомов распыляемого вещества по сравнению с плотностью атомов насыщенного пара происходит нуклеация пара, приводящая к образованию кластеров.
Appears in Collections:	Наукові видання (ЕлІТ)