Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/45998
Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item
Title Розробка частотоміра на базі контролера Arduino
Authors Наконечний, С.О.
Keywords тонкі плівки
тонкие пленки
thin films
частотомір
частотомер
cymometer
Type Conference Papers
Date of Issue 2016
URI http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/45998
Publisher Сумський державний університет
License
Citation Наконечний, С.О. Розробка частотоміра на базі контролера Arduino [Текст] / С.О. Наконечний; кер. К.В. Тищенко // Фізика, електроніка, електротехніка: матеріали та програма науково-технічної конференції, м. Суми, 18-22 квітня 2016 р. / Відп. за вип. С.І. Проценко. - Суми: СумДУ, 2016. - С. 165.
Abstract Методика вимірювання товщини тонких плівок за падінням частоти на пластині кварцу має багато переваг у порівнянні з іншими методами. Такий підхід дозволяє контролювати товщину плівок в процесі напилення у режимі реального часу та має високу точність. Однією з проблем розповсюдження даного методу є висока вартість частотомірів та складність їх самостійного виготовлення. Нами була поставлена задача розробки приладу для вимірювання частоти з мінімальною вартістю і максимальним використанням елементів, що виготовляються серійно.
Appears in Collections: Наукові видання (ЕлІТ)

Views

Canada Canada
1
Chile Chile
1
China China
2
France France
1
Germany Germany
3
Netherlands Netherlands
1
Poland Poland
8
Russia Russia
1
Ukraine Ukraine
206
United Kingdom United Kingdom
1
United States United States
4
Unknown Country Unknown Country
25

Downloads

Germany Germany
3
Netherlands Netherlands
1
Poland Poland
4
Russia Russia
1
Ukraine Ukraine
158
United States United States
1
Unknown Country Unknown Country
18

Files

File Size Format Downloads
Nakonechnyi_cymometer.pdf 439,54 kB Adobe PDF 186

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.