Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/46248
Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item
Title Автоматизований пристрій для нанесення плівок напівпровідникових сполук у безкисневій атмосфері
Authors Chaliuk, Roman Yuriiovych
Diachenko, Oleksii Viktorovych  
Opanasiuk, Nadiia Mykolaivna
Рибальський, Я.І.
Keywords плівки
пленки
film
напівпровідникові сполуки
полупроводниковые соединения
compound semiconductor
Type Conference Papers
Date of Issue 2016
URI http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/46248
Publisher Сумський державний університет
License
Citation Автоматизований пристрій для нанесення плівок напівпровідникових сполук у безкисневій атмосфері [Текст] / Я.І. Рибальський, Р.Ю. Чалюк, О.В. Д'яченко, Н.М. Опанасюк // Фізика, електроніка, електротехніка матеріали та програма науково-технічної конференції, м. Суми, 18-22 квітня 2016 р. / Відп. за вип. С.І. Проценко. - Суми: СумДУ, 2016. - С. 191.
Abstract Останнім часом для нанесення плівок полікристалічних матеріалів все більшу увагу привертають безвакуумні методи. Одним перспективних вважається метод спрей-піролізу, який дає змогу отримувати хімічно чисті плівки з керованим складом різної товщини при низьких температурах. Однак, за традиційною схемою розпилення прекурсору, що проводиться у повітрі й призводить до окислення матеріалів майбутньої плівки киснем.
Appears in Collections: Наукові видання (ЕлІТ)

Views

Canada Canada
1
Chile Chile
1
China China
17685819
EU EU
1
Finland Finland
1
France France
2
Germany Germany
14806
Greece Greece
1
Ireland Ireland
104868
Italy Italy
1
Lithuania Lithuania
1
Netherlands Netherlands
2469
Sweden Sweden
1
Ukraine Ukraine
3174425
United Kingdom United Kingdom
1692083
United States United States
9522700
Unknown Country Unknown Country
3174424

Downloads

China China
694596
Germany Germany
3174423
Lithuania Lithuania
1
Peru Peru
1
Ukraine Ukraine
9522700
United Kingdom United Kingdom
1
United States United States
9522700
Unknown Country Unknown Country
8

Files

File Size Format Downloads
Chaliuk_film.pdf 440,03 kB Adobe PDF 22914430

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.