Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/46248
Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item
Title Автоматизований пристрій для нанесення плівок напівпровідникових сполук у безкисневій атмосфері
Authors Chaliuk, Roman Yuriiovych
Diachenko, Oleksii Viktorovych  
Diachenko, Oleksii Viktorovych  
Opanasiuk, Nadiia Mykolaivna
Рибальський, Я.І.
ORCID http://orcid.org/0000-0003-2312-5255
http://orcid.org/0000-0003-2312-5255
Keywords плівки
пленки
film
напівпровідникові сполуки
полупроводниковые соединения
compound semiconductor
Type Conference Papers
Date of Issue 2016
URI http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/46248
Publisher Сумський державний університет
License
Citation Автоматизований пристрій для нанесення плівок напівпровідникових сполук у безкисневій атмосфері [Текст] / Я.І. Рибальський, Р.Ю. Чалюк, О.В. Д'яченко, Н.М. Опанасюк // Фізика, електроніка, електротехніка матеріали та програма науково-технічної конференції, м. Суми, 18-22 квітня 2016 р. / Відп. за вип. С.І. Проценко. - Суми: СумДУ, 2016. - С. 191.
Abstract Останнім часом для нанесення плівок полікристалічних матеріалів все більшу увагу привертають безвакуумні методи. Одним перспективних вважається метод спрей-піролізу, який дає змогу отримувати хімічно чисті плівки з керованим складом різної товщини при низьких температурах. Однак, за традиційною схемою розпилення прекурсору, що проводиться у повітрі й призводить до окислення матеріалів майбутньої плівки киснем.
Appears in Collections: Наукові видання (ЕлІТ)

Views

Canada Canada
1
Chile Chile
1
China China
17685819
EU EU
1
Finland Finland
1
France France
2
Germany Germany
14806
Greece Greece
1
Ireland Ireland
104868
Italy Italy
1
Japan Japan
1
Lithuania Lithuania
1
Netherlands Netherlands
2469
Sweden Sweden
1
Ukraine Ukraine
3174425
United Kingdom United Kingdom
1692083
United States United States
35371605
Unknown Country Unknown Country
3174424

Downloads

China China
694596
Germany Germany
61220511
Japan Japan
1
Lithuania Lithuania
1
Peru Peru
1
Ukraine Ukraine
9522700
United Kingdom United Kingdom
1
United States United States
35371606
Unknown Country Unknown Country
8

Files

File Size Format Downloads
Chaliuk_film.pdf 440.03 kB Adobe PDF 106809425

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.