Автоматизований пристрій для нанесення плівок напівпровідникових сполук у безкисневій атмосфері

Чалюк, Роман Юрійович; Д`яченко, Олексій Вікторович; Опанасюк, Надія Миколаївна; Рибальський, Я.І.

Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/46248

Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item

Title	Автоматизований пристрій для нанесення плівок напівпровідникових сполук у безкисневій атмосфері
Authors	Chaliuk, Roman Yuriiovych Diachenko, Oleksii Viktorovych Opanasiuk, Nadiia Mykolaivna Рибальський, Я.І.
Keywords	плівки пленки film напівпровідникові сполуки полупроводниковые соединения compound semiconductor
Type	Conference Papers
Date of Issue	2016
URI	http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/46248
Publisher	Сумський державний університет
License
Citation	Автоматизований пристрій для нанесення плівок напівпровідникових сполук у безкисневій атмосфері [Текст] / Я.І. Рибальський, Р.Ю. Чалюк, О.В. Д'яченко, Н.М. Опанасюк // Фізика, електроніка, електротехніка матеріали та програма науково-технічної конференції, м. Суми, 18-22 квітня 2016 р. / Відп. за вип. С.І. Проценко. - Суми: СумДУ, 2016. - С. 191.
Abstract	Останнім часом для нанесення плівок полікристалічних матеріалів все більшу увагу привертають безвакуумні методи. Одним перспективних вважається метод спрей-піролізу, який дає змогу отримувати хімічно чисті плівки з керованим складом різної товщини при низьких температурах. Однак, за традиційною схемою розпилення прекурсору, що проводиться у повітрі й призводить до окислення матеріалів майбутньої плівки киснем.
Appears in Collections:	Наукові видання (ЕлІТ)