Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/64309
Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item
Title Критичні напруження в підкладці, що виникають при вирощуванні імпульсними методами рідиннофазної епітаксії
Authors Цибуленко, В.В.
Шутов, С.В.
Keywords рідиннофазна епітаксія
жидкофазная эпитаксия
fluid phase epitaxy
імпульсний метод
импульсный метод
pulse method
критичне напруження
критическое напряжение
critical tension
Type Conference Papers
Date of Issue 2017
URI http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/64309
Publisher Сумський державний університет
License
Citation Цибуленко, В.В. Критичні напруження в підкладці, що виникають при вирощуванні імпульсними методами рідиннофазної епітаксії [Текст] / В.В. Цибуленко, С.В. Шутов // Фізика, електроніка, електротехніка : матеріали та програма науково-технічної конференції, м. Суми, 17-21 квітня 2017 р. / Відп. за вип. С.І. Проценко. – Суми : СумДУ, 2017. – С. 76.
Abstract При використанні імпульсних методів рідиннофазної епітаксії контакт охолодженої підкладки з розчином-розплавом призводить до виникнення градієнту температури по її товщині. При цьому формуються механічні напруження, які можуть призвести до руйнування підкладки. Метою роботи є дослідження напружень, що виникають по товщині підкладки, при використанні імпульсних методів рідиннофазної епітаксії. Моделювання проведено для системи Gе-GaAs в діапазоні температур 450÷850 оС. Товщина підкладки – 380 мкм, її початкова температура – 27 оС, товщина Ga-Ge розчину-розплаву – 3500 мкм.
Appears in Collections: Наукові видання (ЕлІТ)

Views

China China
1
Germany Germany
2
Netherlands Netherlands
373
South Korea South Korea
1
Ukraine Ukraine
169
United Kingdom United Kingdom
1305
United States United States
745
Unknown Country Unknown Country
12

Downloads

China China
1
Germany Germany
2
Ukraine Ukraine
150
United Kingdom United Kingdom
1
Unknown Country Unknown Country
2

Files

File Size Format Downloads
Tsybulenko_napruzhennia.pdf 498,26 kB Adobe PDF 156

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.