Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/64738
Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item
Title Хімічне полірування Cd(Mn)Te травильними композиціями КІО3 – КІ – лактатна кислота
Authors Іваніцька, В.Г.
Тунь, Є.І.
Мар'янчук, П.Д.
Фочук, П.М.
Keywords хімічне полірування
химическое полирование
chemical polishing
напівпровідник
полупроводник
semiconductor
лактатна кислота
лактатная кислота
lactic acid
Type Conference Papers
Date of Issue 2017
URI http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/64738
Publisher Сумський державний університет
License
Citation Хімічне полірування Cd(Mn)Te травильними композиціями КІО3 – КІ – лактатна кислота [Текст] / В. Г. Іваніцька, Є.І. Тунь, П.Д. Мар’янчук, П.М. Фочук // Фізика, електроніка, електротехніка : матеріали та програма науково-технічної конференції, м. Суми, 17-21 квітня 2017 р. / Відп. за вип. С.І. Проценко. – Суми : СумДУ, 2017. – С. 106.
Abstract Хімічна обробка напівпровідників – це сукупність технологічних операцій, які застосовують для одержання досконалої поверхні зразків чистої від забруднень, а також із метою контрольованого видалення матеріалу та отримання пластин заданої товщини. Метою роботи є дослідження особливостей та аналіз результатів хімічної взаємодії монокристалічного Cd0,95Mn0,05Te із розчинами КІО3 – КІ – лактатна кислота в процесі хіміко-механічного полірування (ХМП), виявлення впливу в’язкого компонента на результат ХМП.
Appears in Collections: Наукові видання (ЕлІТ)

Views

Czechia Czechia
1
Germany Germany
18
Lithuania Lithuania
1
Sweden Sweden
1
Ukraine Ukraine
449
United Kingdom United Kingdom
973
United States United States
486
Unknown Country Unknown Country
15

Downloads

Germany Germany
1
Ukraine Ukraine
382
United Kingdom United Kingdom
1
United States United States
1
Unknown Country Unknown Country
4

Files

File Size Format Downloads
Ivanitska_poliruvannia.pdf 444,84 kB Adobe PDF 389

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.