Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/64782
Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item
Title Структура та коливні спектри тонких плівок B -Ga[2]O[3]
Authors Медвідь, І.І.
Бордун, Б.О.
Keywords іонно-плазмове розпилення
ионно-плазменное распыление
ion-plasma spraying
полікристалічна структура
поликристаллическая структура
polycrystalline structure
дифракційний спектр
дифракционный спектр
diffraction spectrum
Type Conference Papers
Date of Issue 2017
URI http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/64782
Publisher Сумський державний університет
License
Citation Медвідь, І.І. Структура та коливні спектри тонких плівок B -Ga[2]O[3] [Текст] / І.І. Медвідь, Б.О. Бордун // Фізика, електроніка, електротехніка : матеріали та програма науково-технічної конференції, м. Суми, 17-21 квітня 2017 р. / Відп. за вип. С.І. Проценко. – Суми : СумДУ, 2017. – С. 112.
Abstract В останні роки широке застосування набувають плівки на основі β-фази Ga2O3. Тонкі плівки Ga2O3 товщиною 0.2-0.8 мкм одержані високочастотним (ВЧ) іонно-плазмовим розпиленням на підкладках із плавленого кварцу υ-SiO2. Для отриманих плівок -Ga2O3 характерна полікристалічна структура, яка відрізняється залежно від способу термообробки плівок. Одержані в роботі результати при дослідженні коливних спектрів можна використати при вивченні структури і досконалості тонких плівок -Ga2O3, перебудови їх структури під час фазових переходів. Спектри ІЧ-відбивання корисні для інтерпретації плівок -Ga2O3, легованих елементами III-V груп періодичної системи. Наявність у цих спектрах порівняно вузьких смуг дозволяє проводити кількісний аналіз домішок.
Appears in Collections: Наукові видання (ЕлІТ)

Views

Germany Germany
1
Lithuania Lithuania
1
Ukraine Ukraine
149
United Kingdom United Kingdom
328
United States United States
164
Unknown Country Unknown Country
11

Downloads

Germany Germany
1
Ukraine Ukraine
654
United Kingdom United Kingdom
1
United States United States
1
Unknown Country Unknown Country
3

Files

File Size Format Downloads
Medvid_spektr.pdf 468,75 kB Adobe PDF 660

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.