Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/65736
Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item
Title Влияние тантала на текстуру вакуумных конденсатов меди
Other Titles Вплив танталу на текстуру вакуумних конденсатів міді
Effect of Tantalum on the Texture of Copper Vacuum Condensates
Authors Глущенко, М.А.
Белозеров, В.В.
Соболь, О.В.
Субботина, В.В.
Зеленская, Г.И.
Зубков, А.И.
ORCID
Keywords текстура
texture
медь
мідь
copper
Cu(Ta)
вакуумная конденсация
вакуумна конденсація
vacuum condensation
структура
structure
Type Article
Date of Issue 2017
URI http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/65736
Publisher Сумский государственный университет
License
Citation Влияние тантала на текстуру вакуумных конденсатов меди [Текст] / М.А. Глущенко, В.В. Белозеров, О.В. Соболь [и др.] // Журнал нано- та електронної фізики. - 2017. - Т.9, № 2. - 02015. - DOI: 10.21272/jnep.9(2).02015.
Abstract Изучена структура вакуумных конденсатов Cu(Ta) толщиной до 50 мкм отделенных от неориентирующих подложек. Обнаружено, что конденсаты Cu(Ta), полученные при температуре подложки 100 °С, имеют текстуру типа <111> перпендикулярно их поверхности. Степень и характер текстурированности зеренной структуры медной матрицы зависят от концентрации тантала, температуры подложки и сохраняются при последующем отжиге. Изученные закономерности объясняются формированием атомами тантала сегрегаций на границах зерен медной матрицы в процессе конденсации двухкомпонентного пара.
Вивчено структуру відокремлених від неоріентуючих підкладок вакуумних конденсатів Cu(Ta) товщиною до 50 мкм. Виявлено, що конденсати Cu(Ta), які отримані при температурі підкладки 100 °С, мають текстуру типу <111> перпендикулярно їх поверхні. Ступінь і характер текстурованності зереної структури мідної матриці, що залежать від концентрації танталу і температури підкладки, зберігається при подальшому відпалі. Вивчені закономірності пояснюються формуванням атомами танталу сегрегацій на межах зерен мідної матриці в процесі конденсації двокомпонентної пари.
The structure of 50 microns thick separated from the nonorienting substrate Cu(Ta) vacuum condensates is studied. It is found that Cu(Ta) condensates, obtained at the substrate temperature of 100 °C have a <111> type texture perpendicular to their surface. The degree and nature of the texturing of the grain structure of the copper matrix, which depend on the concentration of tantalum and the substrate temperature is maintained during subsequent annealing. The regularities studied are explained by the formation by tantalum atoms of segregation at the grain boundaries of the copper matrix during the condensation of two-component vapor.
Appears in Collections: Журнал нано- та електронної фізики (Journal of nano- and electronic physics)

Views

Australia Australia
1
China China
856715
Germany Germany
34
Ireland Ireland
8493
Lithuania Lithuania
1
Singapore Singapore
1
Sweden Sweden
1
Ukraine Ukraine
152818
United Kingdom United Kingdom
84901
United States United States
2969211
Unknown Country Unknown Country
152817

Downloads

China China
1713429
Germany Germany
1
Indonesia Indonesia
1
Lithuania Lithuania
1
Ukraine Ukraine
457648
United Kingdom United Kingdom
1
United States United States
2969212
Unknown Country Unknown Country
4224994

Files

File Size Format Downloads
jnep_V9_02015_4.pdf 416.99 kB Adobe PDF 9365287

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.