Structural-phase and Electrophysical Properties of Nanocomposits Based on the “Glass-Ni3B” System, Received by the Cathode Beam Annealing

Abstract

In this work the opportunity of replacement of conductors based on the precious ruthenium, silver - palladium and gold materials in thick-film elements of hybrid integrated circuits (HIS) by conductors based on nickel boride has been investigated. The structural-phase and electro-physical properties of the film conducting elements based on Ni3B, received at annealing with the help of the cathode beam (CB) and in the furnace has been investigated. It has been established, that the functional materials based on Ni3B are stable enough at radiative-thermal influence and can be used at conducting pastes manufacturing. Conducting elements based on nickel, annealed with the help of CB, on the electrophysical parameters do not concede to conductors based on the ruthenium, silver – palladium compounds, withstand a repeated burning out without the property deterioration.

В работе исследована возможность замены проводников на основе драгоценных рутениевых, се- ребро – палладиевых и золотых материалов в толстопленочных элементах гибридных интегральных схем проводниками на основе борида никеля. Исследовано структурно-фазовые и электрофизические свойства пленочных проводниковых элементов на основе Ni3B, полученных при отжиге с помощью электронного пучка (ЭП) и в печи. Установлено, что функциональные материалы на основе Ni3В до- статочно стабильные при радиационно-термическом воздействии и могут быть использованы при из- готовлении проводящих паст. Проводниковые элементы на основе никеля, которые отожжены с по- мощью ЭП, по своим электрофизическим параметрам не уступают проводникам на основе соединений рутения, серебра-палладия, выдерживая многократный отжиг без ухудшения свойств.

В роботі досліджено можливість заміни провідників на основі дорогоцінних рутенієвих, срібло – паладієвих та золотих матеріалів в товстоплівкових елементах гібридних інтегральних схем провід- никами на основі бориду нікелю. Досліджено структурно-фазові та електрофізичні властивості плів- кових провідникових елементів на основі Ni3B, отриманих при відпалюванні за допомогою електрон- ного пучка (ЕП) і в печі. Встановлено, що функціональні матеріали на основі Ni3В достатньо стабільні при радіаційно-термічній дії і можуть бути використані при виготовленні провідникових паст. Прові- дникові елементи на основі нікелю, які відпалені за допомогою ЕП, за своїми електрофізичними па- раметрами не поступаються провідникам на основі сполук рутенію, срібла-паладію, витримуючи бага- тократне випалення без погіршення властивостей.