Елементний склад плівкових систем на основі FexСо1 – x та Cu

Салтиков, Д.І.

Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/67889

Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item

Title	Елементний склад плівкових систем на основі FexСо1 – x та Cu
Authors	Салтиков, Д.І.
ORCID
Keywords	тришарові плівки трехслойные пленки three-layer films плівкові системи пленочные системы film system термообробка термообработка heat treatment
Type	Conference Papers
Date of Issue	2018
URI	http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/67889
Publisher	Сумський державний університет
License
Citation	Салтиков, Д.І. Елементний склад плівкових систем на основі FexСо1–x та Cu [Текст] / Д.І. Салтиков; кер. Ю.О. Шкурдода // Фізика, електроніка, електротехніка: матеріали та програма науково-технічної конференції, м. Суми, 5-9 лютого 2018 р. / Відп. за вип. С.І. Проценко. – Суми: СумДУ, 2018. – С. 67.
Abstract	Тришарові плівки з шарів сплаву FexСо1 – x (х ≈ 0,5, dF  20-40 нм) розділені прошарком Cu (dN  10-20 нм) і двошарові з компонентів цієї системи були одержані шляхом пошарової конденсації з незалежних джерел на ситалові підкладки при Тп = 300К. Термообробка плівок проводилася за температури 700 К. Елементний склад зразків визначався методом вторинно-іонної мас-спектрометрії (ВІМС) на приладі МС-7201М.
Appears in Collections:	Наукові видання (ЕлІТ)