Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/67906
Title: Акустоелектронний сенсор фізичних величин на поверхневих акустичних хвилях
Authors: Tkach, Olena Petrivna 
Сухін, Є.І.
Odnodvorets, Kateryna Serhiivna
Keywords: сенсорні пристрої
сенсорные устройства
sensory devices
наноелектроніка
наноэлектроника
nanoelectronics
мікроелектронні технології
микроэлектронные технологии
microelectronic technology
Issue Year: 2018
Publisher: Сумський державний університет
Citation: Сухін, Є.І. Акустоелектронний сенсор фізичних величин на поверхневих акустичних хвилях [Текст] / Є.І. Сухін, К.С. Однодворець, О.П. Ткач // Фізика, електроніка, електротехніка: матеріали та програма науково-технічної конференції, м. Суми, 5-9 лютого 2018 р. / Відп. за вип. С.І. Проценко. – Суми: СумДУ, 2018. – С. 88.
Abstract: Розроблення сенсорних пристроїв на вітчизняному та світовому ринках є прогресивним напрямом в подальшому розвитку наноелектроніки. На основі поверхневих хвиль розроблена велика кількість сенсорів з високими показниками точності, що дозволяють вимірювати вагу, тиск, прискорення та ін. До переваг даних пристроїв можна віднести те, що вони створюються на основі елементів інтегральної електроніки, оптики та різноманітних мікроелектронних технологій і при цьому забезпечують контроль декількох фізичних величин. Проте актуальними залишаються питання пошуку нових матеріалів для підкладки та топології її виготовлення.
URI: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/67906
Type: Theses
Appears in Collections:Наукові видання (ЕлІТ)

Views
Other9
Downloads
Other5


Files in This Item:
File Description SizeFormatDownloads 
Sukhin_Odnodvorets_Tkach_Akustoelektronnyi_sensor.pdf432.86 kBAdobe PDF5Download


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.