Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/67906
Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item
Title Акустоелектронний сенсор фізичних величин на поверхневих акустичних хвилях
Authors Tkach, Olena Petrivna  
Сухін, Є.І.
Odnodvorets, Kateryna Serhiivna
ORCID http://orcid.org/0000-0003-3207-2490
Keywords сенсорні пристрої
сенсорные устройства
sensory devices
наноелектроніка
наноэлектроника
nanoelectronics
мікроелектронні технології
микроэлектронные технологии
microelectronic technology
Type Conference Papers
Date of Issue 2018
URI http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/67906
Publisher Сумський державний університет
License
Citation Сухін, Є.І. Акустоелектронний сенсор фізичних величин на поверхневих акустичних хвилях [Текст] / Є.І. Сухін, К.С. Однодворець, О.П. Ткач // Фізика, електроніка, електротехніка: матеріали та програма науково-технічної конференції, м. Суми, 5-9 лютого 2018 р. / Відп. за вип. С.І. Проценко. – Суми: СумДУ, 2018. – С. 88.
Abstract Розроблення сенсорних пристроїв на вітчизняному та світовому ринках є прогресивним напрямом в подальшому розвитку наноелектроніки. На основі поверхневих хвиль розроблена велика кількість сенсорів з високими показниками точності, що дозволяють вимірювати вагу, тиск, прискорення та ін. До переваг даних пристроїв можна віднести те, що вони створюються на основі елементів інтегральної електроніки, оптики та різноманітних мікроелектронних технологій і при цьому забезпечують контроль декількох фізичних величин. Проте актуальними залишаються питання пошуку нових матеріалів для підкладки та топології її виготовлення.
Appears in Collections: Наукові видання (ЕлІТ)

Views

Australia Australia
1
China China
1151
Germany Germany
626704
Greece Greece
1
Ireland Ireland
42321
Japan Japan
1
Lithuania Lithuania
1
Mongolia Mongolia
1
Netherlands Netherlands
1511
South Korea South Korea
1
Sweden Sweden
1
Switzerland Switzerland
1
Ukraine Ukraine
138399515
United Kingdom United Kingdom
2060800
United States United States
231576690
Unknown Country Unknown Country
4118576

Downloads

Lithuania Lithuania
1
Ukraine Ukraine
45222341
United Kingdom United Kingdom
1
United States United States
376827277
Unknown Country Unknown Country
6

Files

File Size Format Downloads
Sukhin_Odnodvorets_Tkach_Akustoelektronnyi_sensor.pdf 432.86 kB Adobe PDF 422049626

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.