Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/67906
Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item
Title Акустоелектронний сенсор фізичних величин на поверхневих акустичних хвилях
Authors Tkach, Olena Petrivna  
Сухін, Є.І.
Odnodvorets, Kateryna Serhiivna
Keywords сенсорні пристрої
сенсорные устройства
sensory devices
наноелектроніка
наноэлектроника
nanoelectronics
мікроелектронні технології
микроэлектронные технологии
microelectronic technology
Type Conference Papers
Date of Issue 2018
URI http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/67906
Publisher Сумський державний університет
License
Citation Сухін, Є.І. Акустоелектронний сенсор фізичних величин на поверхневих акустичних хвилях [Текст] / Є.І. Сухін, К.С. Однодворець, О.П. Ткач // Фізика, електроніка, електротехніка: матеріали та програма науково-технічної конференції, м. Суми, 5-9 лютого 2018 р. / Відп. за вип. С.І. Проценко. – Суми: СумДУ, 2018. – С. 88.
Abstract Розроблення сенсорних пристроїв на вітчизняному та світовому ринках є прогресивним напрямом в подальшому розвитку наноелектроніки. На основі поверхневих хвиль розроблена велика кількість сенсорів з високими показниками точності, що дозволяють вимірювати вагу, тиск, прискорення та ін. До переваг даних пристроїв можна віднести те, що вони створюються на основі елементів інтегральної електроніки, оптики та різноманітних мікроелектронних технологій і при цьому забезпечують контроль декількох фізичних величин. Проте актуальними залишаються питання пошуку нових матеріалів для підкладки та топології її виготовлення.
Appears in Collections: Наукові видання (ЕлІТ)

Views

Ukraine Ukraine
68
Unknown Country Unknown Country
15

Downloads

Unknown Country Unknown Country
6

Files

File Size Format Downloads
Sukhin_Odnodvorets_Tkach_Akustoelektronnyi_sensor.pdf 432,86 kB Adobe PDF 6

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.