Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/71622
Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item
Title The Structural-Phase State and Diffusion Process in Film Structures Based on Co and Ru
Other Titles Структурно-фазовий стан та дифузійні процеси в плівкових структурах на основі Co і Ru
Authors Cheshko, Iryna Volodymyrivna  
Lohvynov, Andrii Mykolaiovych  
Protsenko, Serhii Ivanovych  
Салтикова, А.І.
ORCID http://orcid.org/0000-0002-1585-6712
http://orcid.org/0000-0001-5496-3345
http://orcid.org/0000-0002-8070-1610
Keywords тонка плівка
синтетичний антиферомагнітний шар
crystal structure
кристалічна структура
фазовий склад
дифузія
вторинна мас-спектрометрія
thin film
synthetic antiferromagnetic layer
crystal structure
phase composition
diffusion
secondary ion mass spectrometry
Type Article
Date of Issue 2018
URI http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/71622
Publisher Sumy State University
License
Citation The Structural-Phase State and Diffusion Process in Film Structures Based on Co and Ru / I.V. Cheshko, A.M. Lohvynov, A.I. Saltykova, S.I. Protsenko // Журнал нано- та електронної фізики. - 2018. - Т.10, № 6. - 06016. - DOI: 10.21272/jnep.10(6).06016
Abstract Представлені результати дослідження кристалічної структури, фазового складу та дифузійних процесів у плівкових системах на основі Co та Ru в діапазоні товщин 5÷60 нм до і після відпалювання до температури 600 К. Було показано, що плівкові системи Co / Ru / П та Co / Ru / Со / П складаються з фази ГЩП-Co та ГЩП-Ru. Плівкові системи до складу яких входять шари Ru до і після відпалювання мають нанодисперсну кристалічну структур. Середній розмір кристалітів зразків до відпалювання не перевищує 3÷5 нм, після відпалювання максимальний середній розмір становив 16 нм для зразків з товщиною шарів 60 нм Результати дослідження дифузійних процесів двошарових плівкових систем Co / Ru / П в різних діапазонах товщин показали, що до і після відпалювання зберігається відносна індивідуальність окремих шарів оскільки розраховані значення ефективних коефіцієнтів термічної дифузії для відносно тонких та відносно товстих плівок лежать в межах від 0.1 до 1.1 × 10 – 19 м2 / с.
Investigation results of crystalline structure, phase composition and diffusion processes in film systems based on Co and Ru in the thickness range 5÷60 nm before and after annealing to temperature 600 К are represented. It was shown that the film system Co / Ru / S and Co / Ru / Со / S consist of a phase hcp-Co and hcp-Ru. Film systems consisting of Ru layers before and after annealing have a nanodispersed crystalline texture. The average size of crystallites samples before annealing does not exceed 3÷5 nm, after annealing the maximum average size was 16 nm for samples with layer thicknesses 60 nm. The results of the study of the diffusion process of two-layer film systems Co / Ru / in different thickness ranges showed that before and after annealing the relative individuality of separate layers is preserved since the calculated values of thermal diffusion effective coefficients for relatively thin and thick films lie in the range from 0.1 to 1.1 × 10 – 19 m2 / sec.
Appears in Collections: Журнал нано- та електронної фізики (Journal of nano- and electronic physics)

Views

China China
482948158
Germany Germany
965896315
Greece Greece
1
Ireland Ireland
46382
Japan Japan
965896317
Lithuania Lithuania
1
Netherlands Netherlands
331
Singapore Singapore
1
South Korea South Korea
1
Sweden Sweden
1
Taiwan Taiwan
703823
Turkey Turkey
1
Ukraine Ukraine
272206711
United Kingdom United Kingdom
5384714
United States United States
-1261208342
Unknown Country Unknown Country
-625220119

Downloads

Lithuania Lithuania
1
Singapore Singapore
1
South Korea South Korea
1
Ukraine Ukraine
32140278
United Kingdom United Kingdom
1
United States United States
806654298
Unknown Country Unknown Country
9

Files

File Size Format Downloads
Cheshko_2018_jnep_06016.pdf 411.85 kB Adobe PDF 838794589

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.