Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/71622
Title: The Structural-Phase State and Diffusion Process in Film Structures Based on Co and Ru
Other Titles: Структурно-фазовий стан та дифузійні процеси в плівкових структурах на основі Co і Ru
Authors: Cheshko, Iryna Volodymyrivna 
Lohvynov, Andrii Mykolaiovych
Protsenko, Serhii Ivanovych
Салтикова, А.І.
Keywords: тонка плівка
синтетичний антиферомагнітний шар
crystal structure
кристалічна структура
фазовий склад
дифузія
вторинна мас-спектрометрія
thin film
synthetic antiferromagnetic layer
crystal structure
phase composition
diffusion
secondary ion mass spectrometry
Issue Year: 2018
Publisher: Sumy State University
Citation: The Structural-Phase State and Diffusion Process in Film Structures Based on Co and Ru / I.V. Cheshko, A.M. Lohvynov, A.I. Saltykova, S.I. Protsenko // Журнал нано- та електронної фізики. - 2018. - Т.10, № 6. - 06016. - DOI: 10.21272/jnep.10(6).06016
Abstract: Представлені результати дослідження кристалічної структури, фазового складу та дифузійних процесів у плівкових системах на основі Co та Ru в діапазоні товщин 5÷60 нм до і після відпалювання до температури 600 К. Було показано, що плівкові системи Co / Ru / П та Co / Ru / Со / П складаються з фази ГЩП-Co та ГЩП-Ru. Плівкові системи до складу яких входять шари Ru до і після відпалювання мають нанодисперсну кристалічну структур. Середній розмір кристалітів зразків до відпалювання не перевищує 3÷5 нм, після відпалювання максимальний середній розмір становив 16 нм для зразків з товщиною шарів 60 нм Результати дослідження дифузійних процесів двошарових плівкових систем Co / Ru / П в різних діапазонах товщин показали, що до і після відпалювання зберігається відносна індивідуальність окремих шарів оскільки розраховані значення ефективних коефіцієнтів термічної дифузії для відносно тонких та відносно товстих плівок лежать в межах від 0.1 до 1.1 × 10 – 19 м2 / с.
Investigation results of crystalline structure, phase composition and diffusion processes in film systems based on Co and Ru in the thickness range 5÷60 nm before and after annealing to temperature 600 К are represented. It was shown that the film system Co / Ru / S and Co / Ru / Со / S consist of a phase hcp-Co and hcp-Ru. Film systems consisting of Ru layers before and after annealing have a nanodispersed crystalline texture. The average size of crystallites samples before annealing does not exceed 3÷5 nm, after annealing the maximum average size was 16 nm for samples with layer thicknesses 60 nm. The results of the study of the diffusion process of two-layer film systems Co / Ru / in different thickness ranges showed that before and after annealing the relative individuality of separate layers is preserved since the calculated values of thermal diffusion effective coefficients for relatively thin and thick films lie in the range from 0.1 to 1.1 × 10 – 19 m2 / sec.
URI: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/71622
Type: Article
Appears in Collections:Журнал нано- та електронної фізики (Journal of nano- and electronic physics)

Views
Other7
Downloads
Other7


Files in This Item:
File Description SizeFormatDownloads 
Cheshko_2018_jnep_06016.pdf411.85 kBAdobe PDF7Download


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.