Please use this identifier to cite or link to this item: https://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/82014
Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item
Title Дифузійні процеси в плівкових матеріалах електроніки
Authors Коваленко, А.Г.
ORCID
Keywords дифузія
дифузійні процеси
коефіцієнт взаємної дифузії
Type Masters thesis
Date of Issue 2020
URI https://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/82014
Publisher Сумський державний університет
License Copyright not evaluated
Citation Коваленко, А.Г. Дифузійні процеси в плівкових матеріалах електроніки [Текст]: робота на здобуття кваліфікаційного рівня магістра; спец.: 171 – електроніка / А.Г. Коваленко; наук. керівник І.Ю. Проценко. – Суми: СумДУ, 2020. – 28 с.
Abstract Одношарові та багатошарові плівкові структури набули величезного розповсюдження в багатьох напрямках. Їх застосовують в сучасній мікроелектроніці, мікросенсорній техніці, спінтроніці, тощо. На електрофізичні властивості елементів із плівкових матеріалів, як наприклад багатошарові системи, має вплив ряд факторів. Зокрема, вони визначаються ступенем взаємної розчинності атомів сусідніх шарів [1], і, навіть якщо незначної взаємної розчинності, дія зерномежової дифузії на електрофізичні властивості при відносно низьких температурах експлуатації приладів може бути досить суттєвим. Дифузія атомів однієї речовини в іншу призводить до зміни розсіювання електронів на межах зерен [2], а нанесення тонкого покриття на поверхню дозволяє змінювати умови поверхневого розсіювання носіїв заряду. При дослідженні електро- і магнітотранспортних властивостей плівкових систем у вигляді багатошарової плівки чи мультишару завжди велику увагу приділяють питанню про дифузійні процеси і фазоутворення на межі поділу окремих шарів (інтерфейсів) та їх стабільність, що залежить від цих процесів. Для зменшення дії цих факторів використовують різні експериментальні прийоми (конденсація бар’єрних шарів, низькотемпературне оброблення та інші.) у тому числі і підбір окремих компонентів, які відповідно до діаграм стану мають обмежену об’ємну розчинність.
Appears in Collections: Кваліфікаційні роботи здобувачів вищої освіти (ЕлІТ)

Views

Australia Australia
1
China China
1
Greece Greece
1
Ireland Ireland
99
Lithuania Lithuania
1
Singapore Singapore
1
Ukraine Ukraine
2195
United Kingdom United Kingdom
445
United States United States
11296

Downloads

Bulgaria Bulgaria
1
France France
1
Germany Germany
8553
Lithuania Lithuania
1
Netherlands Netherlands
3063
Poland Poland
1326
Romania Romania
1
Russia Russia
1
Slovakia Slovakia
1
Switzerland Switzerland
1
Ukraine Ukraine
11296
United Kingdom United Kingdom
3065
United States United States
14040

Files

File Size Format Downloads
Kovalenko_mag_rob.pdf 677.41 kB Adobe PDF 41350

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.