Фізичні та технологічні принципи функціонування сенсорів прискорення

Abstract

Мета кваліфікаційної роботи магістра полягає в визначенні фізичних та технологічних принципів функціонування сенсорів прискорення, огляду сучасних промислових акселерометрів. В першому розділі було розглянуто фізичні характеристики сенсорів прискорення, їх класифікація. В другому розділі оглянуто загальні відомості про сенсори прискорення та акселерометри на основі технології МЕМС, а саме МЕМС на базі об`ємної та поверхневої мікрообробки. В третьому розділі проведено огляд сучасних промислових MEMС- акселерометрів та виконано порівняльний аналіз експлуатаційних характеристик MEMС – акселерометрів. У результаті проведеного аналізу та дослідженню порівняльних характеристик установлено, що існує велика кількість різних типів акселерометрів і в залежності від галузі застосування до них пред’являються різні вимоги такі, як чутливість, вихідні дані та розміри.