Please use this identifier to cite or link to this item: https://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/83005
Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item
Title Структура та фізико-механічні властивості багатокомпонентних та багатошарових наноструктурних покриттів
Other Titles Структура и физико-механические свойства многокомпонентных и многослойных покрытий
Structure and physical-mechanical properties of multielement and multilayer nanostructured coatings
Authors Bondar, Oleksandr Viacheslavovych  
Keywords вакуумно-дугове осадження
магнетронне розпорошення
багатоелементні нітридні покриття
багатошарові нітридні покриття
мікроструктура
текстура
внутрішні напруження
фізико-механічні та трибологічні властивості
термічне відпалювання
іонна імплантація
розрахунки на основі першопринципної молекулярної динаміки
вакуумно-дуговое осаждение
магнетронное распыление
многоэлементные нитридные покрытия
многослойные нитридные покрытия
микроструктура
текстура
внутренние напряжения
физико-механические и трибологические свойства
термический отжиг
ионная имплантация
расчеты на основе первопринципной молекулярной динамики
vacuum-arc evaporation
magnetron sputtering
multielement nitride coatings
multilayer nitride coatings
microstructure
texture
internal stresses
physical-mechanical and tribological properties
thermal annealing
high-dose ion implantation
first-principles molecular dynamics calculations
Type Synopsis
Date of Issue 2021
URI https://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/83005
Publisher Сумський державний університет
License Copyright not evaluated
Citation Бондар, О. В. Структура та фізико-механічні властивості багатокомпонентних та багатошарових наноструктурних покриттів : автореф. дис. ... д-ра. фіз.-мат. наук : 01.04.07. Суми, 2021. 37 с.
Abstract Дисертація присвячена встановленню загальних закономірностей і механізмів формування багатоелементних (NbN, NbSiN, NbAlN, (TiZrAlYNb)N, (TiZrHfVNb)N і (TiZrHfVNbTa)N) і багатошарових ([TiN/MoN]n/П, [TiN/ZrN]n/П, [MoN/CrN]n/П і [TiN/SiC]n/П) наноструктурних покриттів, визначенню впливу енергетичних і термодинамічних параметрів осадження покриттів на їх структурно-фазовий стан і фізико-механічні властивості. Отримані результати комплексних досліджень доповнюють і розширюють сучасні уявлення про фізичні основи формування структури, мікроструктури, фізико-механічних та трибологічних властивостей багатоелементних і багатошарових наноструктурних покриттів на основі нітридів тугоплавких і перехідних металів, осаджених вакуумно-дуговим випаровуванням або магнетронним розпорошенням. Передусім це стосується впливу параметрів осадження, таких як тиск реактивної азотної атмосфери, потенціал зміщення, що подавався на підкладинки, температура підкладинок, товщини бішарів багатошарових покриттів. Одержані експериментальні дані, доповнені результатами розрахунків на основі першопринципної молекулярної динаміки, сприяють подальшому розвитку теоретичних уявлень про формування багатоелементних та багатошарових нітридних покриттів з керованими властивостями. Дослідження впливу термічного відпалювання та іонної імплантації високими дозами іонів на структурно-фазовий стан та фізико-механічні властивості покриттів дозволяють глибше розуміти фізичні процеси, що відбуваються у покриттях внаслідок дії згаданих процесів.
Диссертация посвящена определению общих закономерностей и механизмов формирования многоэлементных (NbN, NbSiN, NbAlN, (TiZrAlYNb)N, (TiZrHfVNb)N и (TiZrHfVNbTa)N) и многослойных ([TiN/MoN]n/П, [TiN/ZrN]n/П, [MoN/CrN]n/П и [TiN/SiC]n/П) наноструктурных покрытий, выявлению влияния энергетических и термодинамических параметров осаждения покрытий на их структурно-фазовое состояние и физико-механические свойства. Полученные результаты комплексных исследований дополняют и расширяют современные представления о физических основах формирования структуры, микроструктуры, физико-механических и трибологических свойств многоэлементных и многослойных покрытий на основе нитридов тугоплавких и переходных металлов, осажденных вакуумно-дуговым испарением или магнетронным распылением. Прежде всего, это касается влияния параметров осаждения, таких как давление реактивной азотной атмосферы, потенциал смещения, подававшийся на подложки, температура подложек, толщина бислоев многослойных покрытий. Полученные экспериментальные данные, дополненные результатами расчетов на основе первопринципной молекулярной динамики, способствуют дальнейшему развитию теоретических представлений о формировании многоэлементных и многослойных нитридных покрытий с контролируемыми свойствами. Исследование влияния термического отжига и ионной имплантации высокими дозами ионов на структурно-фазовое состояние и физико-механические свойства покрытий позволяют более глубоко понимать физические процессы, происходящие в покрытия в результате действия упомянутых процессов.
The dissertation is devoted to the establishment of general laws and mechanisms of formation of multielement (NbN, NbSiN, NbAlN, (TiZrAlYNb)N, (TiZrHfVNb)N and (TiZrHfVNbTa)N) and multilayer ([TiN/MoN]n/Sub, [TiN/ZrN]n/Sub, [MoN/CrN]n/Sub and [TiN/SiC]n/Sub) nanostructured coatings, determination of the influence of energy and thermodynamic deposition parameters on their structural-phase state and physical-mechanical properties. The obtained results of complex studies supply and extend the modern ideas about the physical foundations of the formation of the structure, microstructure, physical-mechanical and tribological properties of multi-element and multilayer nanostructured coatings based on nitrides of refractory and transition metals deposited by vacuum-arc evaporation or magnetron sputtering. Most of all, it concerns the influence of deposition parameters, such as reactive nitrogen atmosphere pressure, bias potential, substrate temperature, bilayer thickness. The obtained experimental data, supplemented by the results of the principle-principles molecular dynamics calculations, contribute to the further development of theoretical ideas about the formation of multielement and multilayer nitride coatings with controlled properties. Investigation of the influence of thermal annealing and high dose ion implantation on the structure-phase state and physical-mechanical properties of the coatings allow deeper understanding of the physical processes occurring in the coatings due to the action of the mentioned processes.
Appears in Collections: Автореферати

Views

Ukraine Ukraine
83

Downloads

Ukraine Ukraine
85

Files

File Size Format Downloads
avtoref_Bondar.pdf 1,36 MB Adobe PDF 85

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.