Please use this identifier to cite or link to this item: https://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/83048
Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item
Title Спосіб формування графену на поверхні тонкої плівки рутенію
Authors Cheshko, Iryna Volodymyrivna  
Lohvynov, Andrii Mykolaiovych  
Kostiuk, Dmytro Mykolaiovych
Shabelnyk, Yurii Mykhailovych  
Tkach, Olena Petrivna  
Protsenko, Serhii Ivanovych  
ORCID http://orcid.org/0000-0002-1585-6712
http://orcid.org/0000-0001-5496-3345
http://orcid.org/0000-0002-7516-5518
http://orcid.org/0000-0003-3207-2490
http://orcid.org/0000-0002-8070-1610
Keywords рутеній
рутений
ruthenium
формування графену
формирования графена
graphene formation
тонка плівка
тонкая пленка
thin film
Type Patent
Date of Issue 2020
URI https://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/83048
Publisher Український ін-т інтелектуальної власності
License Copyright not evaluated
Citation Пат. 144869 U Україна, C01B 32/184 (2017.01). Спосіб формування графену на поверхні тонкої плівки рутенію / І.В. Чешко, А.М. Логвинов, Д.М. Костюк та ін. (Україна); заявник та патентовласник Сумський держ. ун-т. - № u202003712; заявл. 19.06.2020; опубл. 26.10.2020, бюл. № 20.
Abstract Спосіб формування графену на поверхні тонкої плівки рутенію включає формування шару графену на поверхні тонкої плівки рутенію. Спосіб складається з трьох етапів, де на першому етапі в вакуумній камері установки ВУП-5М, яка оснащена механічним форвакуумним та паромасляним дифузійним насосом, що утворює в камері тиск залишкових газів порядку 10-4 Па, які містять вуглецеві сполуки, на підкладці з пластини монокристалу кремнію з шаром діоксиду кремнію формують адгезійний вуглецевовмісний шар товщиною не більше 1 нм, на другому етапі методом вакуумного термічного осадження в тій же вакуумній камері, за допомогою електронно-променевої гармати діодного типу формують тонку плівку рутенію товщиною 20 нм, а на третьому етапі пластину зі сформованою тонкою плівкою рутенію розміщують у робочому об'ємі вакуумної установки D-356Asslar, що оснащена турбомолекулярним насосом, який забезпечує безмасляний вакуум високого ступеня, після чого підкладку з рутенієм відпалюють при температурі Тв=827 С протягом 15 хв. з наступним охолодженням, причому нагрівання і охолодження відбувається з постійною швидкістю 2-3 С/хв, в результаті на поверхні тонкої плівки рутенію формується шар графену.
Appears in Collections: Патенти

Views

China China
121
Czechia Czechia
1
France France
1
Germany Germany
1
Greece Greece
1
Ireland Ireland
11684
Lithuania Lithuania
1
Netherlands Netherlands
61
Slovakia Slovakia
1
Sweden Sweden
1
Ukraine Ukraine
205236
United Kingdom United Kingdom
64452
United States United States
812266
Unknown Country Unknown Country
406133

Downloads

Czechia Czechia
1
France France
1
Lithuania Lithuania
1
Netherlands Netherlands
63
Ukraine Ukraine
406132
United Kingdom United Kingdom
1
United States United States
124570

Files

File Size Format Downloads
144869_Cheshko.pdf 294,86 kB Adobe PDF 530769

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.