Ефект Холла в плівкових матеріалах сенсорної електроніки

Abstract

Мета роботи полягала у вивченні фізичних принципів функціонування датчиків Холла та вимірювання сталої Холла (СХ) в двошарових плівкових матеріалах на основі металів і напівпровідників. Установлено, що залежність величини напруги Холла від індукції магнітного поля носить лінійний характер, що дозволяє застосовувати такі плівки для конструювання датчиків магнітного поля, і має величину: 55-65 мВ (одношарові плівки Fe(20-30); 90-120 мВ (двокомпонентні плівки Fe(30)/Ge(30)/П, відпалені до Т = 450 К) та 80-130 мВ (двокомпонентні плівки Fe(30)/Ge(30)/П, відпалені до Т = 570 К), що говорить про можливість застосування таких плівок як чутливих елементів датчиків магнітного поля. Експериментально встановлено, що величина сталої Холла для одношарових плівок Fe і Ge складає (1 - 10) . 10-10 і (2 - 5).10-7 м3/Кл відповідно; для двошарових плівок на основі Fe і Ge (6 – 11).10-9 м3/Кл при зростанні індукції магнітного поля від 0 до 80 мТл. При збільшенні інтервалу термообробки плівкових зразків до 570 К величина сталої Холла зменшується від 11 до 6.10-9 м3/Кл, що можна пояснити процесами фазоутворення в досліджуваних зразках - формуванням магнітних фаз германідів заліза.