Застосування методів електронної мікроскопії для дослідження структури функціональних плівкових матеріалів

Убоженко, М.В.

Please use this identifier to cite or link to this item: https://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/92058

Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item

Title	Застосування методів електронної мікроскопії для дослідження структури функціональних плівкових матеріалів
Authors	Убоженко, М.В.
ORCID
Keywords	растровий електронний мікроскоп просвічуюча електронна мікроскопія плівкові зразки еталон енергетична дисперсійна спектроскопія
Type	Bachelous Paper
Date of Issue	2023
URI	https://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/92058
Publisher	Сумський державний університет
License	Copyright not evaluated
Citation	Убоженко М. В. Застосування методів електронної мікроскопії для дослідження структури функціональних плівкових матеріалів : робота на здобуття кваліфікаційного ступеня бакалавра : спец. 171 - електроніка / наук. кер. І. О. Шпетний. Суми : Сумський державний університет, 2023. 35 с.
Abstract	Актуальність теми роботи. В сучасному науковому світі дослідження структури функціональних плівкових матеріалів мають велике значення для розробки нових технологій і вдосконалення існуючих систем. Застосування методів електронної мікроскопії у таких дослідженнях стає невід'ємною складовою частиною сучасної науково-дослідної практики. Методи електронної мікроскопії забезпечують можливість отримання детальної інформації про морфологію, структуру та властивості плівкових матеріалів на нанометровому рівні. Актуальність даної проблеми полягає в тому, що функціональні плівкові матеріали використовуються в різних галузях, таких як електроніка, оптика, енергетика. Для досягнення кращих властивостей і покращення функціональності цих матеріалів необхідно розуміти їхню структуру на мікро- та нанометровому рівнях. Таким чином, розробка та застосування методів електронної мікроскопії для дослідження структури функціональних плівкових матеріалів є вкрай важливим кроком у напрямі розширення наших знань про ці матеріали. Метою кваліфікаційної роботи є вивчення методик досліджень структури, елементного та фазового складу тонкоплівкових матеріалів електроніки методами растрової і просвічуючої електронної мікроскопії, використанні прикладних програм для електронної мікроскопії та аналізі результатів експериментальних досліджень. Методи: під час виконання роботи були розглянуті та проаналізовані результати досліджень для плівкових систем, отриманих методом термічного випаровування на приладі ВУП-5М. У роботі проаналізовані результати, отримані з використанням растрового електронного мікроскопу Jeol 7001 TTLS (з приставкою фірми Oxford Instruments для енергетичної дисперсійної спектроскопії) та просвічуючого електронного мікроскопу ПЕМ-125К.
Appears in Collections:	Кваліфікаційні роботи здобувачів вищої освіти (ЕлІТ)