Дослідження структури, механічних і термодинамічних властивостей плівок(TiZrNbHfTa)B2

Полтавцев, В.О.

Будь ласка, використовуйте цей ідентифікатор, щоб цитувати або посилатися на цей матеріал: https://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/92489

Використовуйте наступні посилання для розповсюдження матеріалу в соціальних мережах: Рекомендувати цей матеріал

Назва	Дослідження структури, механічних і термодинамічних властивостей плівок(TiZrNbHfTa)B2
Автори	Полтавцев, В.О.
ORCID
Ключові слова	плівка film осадження deposition структура structure
Вид документа	Бакалаврська робота
Спеціальність	153 - Мікро- та наносистемна техніка
Дати випуску	2023
URI (Уніфікований ідентифікатор ресурсу)	https://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/92489
Видавець	Сумський державний університет
Ліцензія	Copyright не зазначено
Бібліографічний опис	Полтавцев В. О. Дослідження структури, механічних і термодинамічних властивостей плівок(TiZrNbHfTa)B2 : робота на здобуття кваліфікаційного ступеня бакалавра : спец. 153 - мікро- та наносистемна техніка / наук. кер. О. Д. Погребняк. Суми : Сумський державний університет, 2023. 57 с.
Короткий огляд (реферат)	В бакалаврській роботі було проведено дослідження структури, механічних і термодинамічних властивостей плівок (TiZrNbHfTa) B2 та їх осадження методом магнетронного розпилення постійного струму. Плівки були охарактеризовані за допомогою XRD, XPS, AFM, рамановської спектроскопії, індентування та трибологічних тестів. Виявлено нанокристалічну структуру однофазних твердих розчинів диборидів, що входять до складу плівок.
Розташовується у зібраннях:	Кваліфікаційні роботи здобувачів вищої освіти (ЕлІТ)