Please use this identifier to cite or link to this item:
https://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/92530
Or use following links to share this resource in social networks:
Tweet
Recommend this item
| Title | Дослідження структури, механічних і термодинамічних властивостей плівок (TiZrNbHfTa)B2. Їх осадження методом магнетронного розпилення постійного струму під дією ефекту зміщення підкладки |
| Authors |
Клименко, Д.О.
|
| ORCID | |
| Keywords |
плівка film постійний струм direct current товщина thickness плазмова апаратура plasma equipment |
| Type | Bachelous Paper |
| Date of Issue | 2023 |
| URI | https://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/92530 |
| Publisher | Сумський державний університет |
| License | Copyright not evaluated |
| Citation | Клименко Д. О. Дослідження структури, механічних і термодинамічних властивостей плівок (TiZrNbHfTa)B2. Їх осадження методом магнетронного розпилення постійного струму під дією ефекту зміщення підкладки : робота на здобуття кваліфікаційного ступеня бакалавра : спец. 153 - мікро- та наносистемна техніка / наук. кер. О. Д. Погребняк. Суми : Сумський державний університет, 2023. 54 с. |
| Abstract |
В бакалаврській роботі було проведено дослідження структури, механічних і термодинамічних властивостей плівок (TiZrNbHfTa) B2 та їх осадження методом магнетронного розпилення постійного струму під дією ефекту зміщення підкладки. Детальніший аналіз структури (TiZrNbHfTa)B2 може включати визначення розташування атомів у кристалічній ґратці, вивчення міжатомних взаємодій, аналіз наявності домішок та дефектів у структурі, а також вимірювання параметрів кристалічної ґратки, таких як період решітки та коефіцієнт сітчастості. |
| Appears in Collections: |
Кваліфікаційні роботи здобувачів вищої освіти (ЕлІТ) |
Views
Singapore
1
Ukraine
1
United Kingdom
12
United States
38
Unknown Country
19
Downloads
France
1
Germany
1
Ukraine
75
United States
73
Files
| File | Size | Format | Downloads |
|---|---|---|---|
| Klymenko_bak_rob.pdf | 778,25 kB | Adobe PDF | 150 |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.