Тонкоплівкові чутливі елементи для сенсорів наноелектроніки

Abstract

У сучасному світі нанотехнології відіграють критичну роль у розвитку новітніх електронних пристроїв, зокрема у сфері сенсорної техніки. Тонкоплівкові чутливі елементи є одним із ключових компонентів у виробництві високочутливих та високоточних сенсорів, які застосовуються у наноелектроніці. Ці елементи забезпечують інтеграцію функціональних матеріалів з мікро- та нанорозмірними структурами, що дозволяє значно підвищити ефективність та функціональність сенсорних систем. Розробка та впровадження тонкоплівкових чутливих елементів у промисловість вимагає вирішення ряду складних наукових та технічних задач. Основними з них є: вибір оптимальних матеріалів для плівок, розробка методів їхнього нанесення та інтеграції з електронними схемами, а також створення надійних та довговічних сенсорів, здатних працювати у широкому діапазоні умов. Крім того, існує потреба у створенні стандартів та протоколів тестування таких сенсорів, що дозволить забезпечити їх високу якість і надійність. Мета кваліфікаційної роботи полягала у вивченні та аналізі функціональних та конструктивних особливостей тонкоплівкових сенсорів та їх чутливих елементів, а також моделюванні параметрів ємнісних датчиків, використовуючи середовище COMSOL Multiphysics.