Волоконно-оптичні датчики тиску фабрі–перо у мікроелектромеханічних системах

Abstract

Поєднання інтерферометра Фабрі-Перо з MEMS-технологіями відкриває нові можливості для створення мініатюрних, надійних і масово вироблених сенсорів. Завдяки кремнієвим технологіям такі пристрої зберігають функціональність у екстремальних умовах, що робить їх перспективними для застосування там, де традиційні сенсори виявляються неефективними. Мета кваліфікаційної роботи магістра полягала в дослідженні принципів роботи, конструкції та методів моделювання сенсорів тиску, побудованих на основі інтерферометра Фабрі-Перо, а також у визначенні галузей їх практичного застосування та перспектив розвитку у складі MEMS-систем. Під час виконання роботи були використані методи аналітичного огляду наукових джерел, чисельного моделювання оптичних та механічних характеристик сенсорів, а також побудови математичних моделей, які описують взаємозв’язок між тиском і параметрами інтерференційного спектра. Використовувалися програмні засоби для симуляції роботи сенсора та аналізу отриманих результатів. У результаті проведених наукових досліджень установлено, що сенсори тиску на основі інтерферометра Фабрі-Перо демонструють високу чутливість і стабільність у широкому діапазоні температур і тиску.