Please use this identifier to cite or link to this item:
https://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/99697
Or use following links to share this resource in social networks:
Tweet
Recommend this item
| Title | Процеси структуроутворення покриттів на основі ZrN в умовах магнетронного розпилення |
| Authors |
Pakhnenko, Diana Viktorivna
Khaniukov, Kyrylo Serhiiovych Varakin, Vitalii Olehovych Hovorun, Tetiana Pavlivna 
|
| ORCID |
http://orcid.org/0000-0002-9384-5250 |
| Keywords |
іонно-плазмове розпилення наноструктуровані покриття магнетронне розпилення ion-plasma sputtering nanostructured coatings magnetron sputtering |
| Type | Conference Papers |
| Date of Issue | 2025 |
| URI | https://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/99697 |
| Publisher | Сумський державний університет |
| License | In Copyright |
| Citation | Пахненко Д. В, Ханюков К. С., Варакін В. О., Говорун Т. П. Процеси структуроутворення покриттів на основі ZrN в умовах магнетронного розпилення // Сучасні технології у промисловому виробництві : матеріали XII Всеукраїнської науково-технічної конференції, м. Суми, 22–25 квітня 2025 р. / редкол. : О. Г. Гусак, І. В. Павленко. Суми : Сумський державний університет, 2025. С. 63-64. |
| Abstract |
Методи іонно-плазмового розпилення характеризують направленість
потоку кластерів, що утворюють покриття, і в залежності від умов проведення
процесу призводить до різного структурного стану сформованих покриттів.
Осадження наноструктурованих покриттів можливе з використанням
покращеного вакуумного обладнання, отриманні інформації про процес
формування покриття при осадженні із застосуванням мікроскопії та аналізу його складу. |
| Appears in Collections: |
Наукові видання (ТеСЕТ) |
Views
Downloads
Files
| File | Size | Format | Downloads |
|---|---|---|---|
| Pakhnenko_magnetron_sputtering.pdf | 427.52 kB | Adobe PDF | 0 |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.