Please use this identifier to cite or link to this item:
http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/997
Or use following links to share this resource in social networks:
Tweet
Recommend this item
Title | Особенности решения обратной задачи в спектроэллипсометрических исследованиях |
Authors |
Karpusha, Vasyl Danylovych
Shvets, Uliana Stanislavivna |
ORCID |
http://orcid.org/0000-0002-1518-4047 |
Keywords |
решение обратной задачи метод спектральной єллипсометрии роз`язання оберненої задачі метод спектральної еліпсометрії |
Type | Article |
Date of Issue | 2004 |
URI | http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/997 |
Publisher | Издательство СумГУ |
License | |
Citation | Карпуша, В.Д. Особенности решения обратной задачи в спектроэллипсометрических исследованиях [Текст] / В.Д. Карпуша, У.С. Швец // Вісник Сумського державного університету. Серія Фізика, математика, механіка. - 2004. - №10(69). - С. 28-35. |
Abstract |
In the present paper the possibility of application of spectral ellipsometry method for determination of parameters of near-surface layers amorphous metallic alloys is analysed. The selection criterion of incorrect solutions of inverse ellipsometry task is suggested which is based on the evaluation of the maximal caused by an error of the method deviation determined parameters.
When you are citing the document, use the following link http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/997 |
Appears in Collections: |
Журнал нано- та електронної фізики (Journal of nano- and electronic physics) |
Views
Belarus
1
China
5
Côte d’Ivoire
1
France
4
Georgia
1
Germany
9169
Greece
258795
Iran
2
Ireland
21984123
Italy
1
Kazakhstan
1
Lithuania
1
Netherlands
26804
Pakistan
1
Russia
45
Spain
1
Turkey
15
Ukraine
148232061
United Kingdom
62972358
United States
1971549604
Unknown Country
148232059
Downloads
Canada
1
France
6
Georgia
2980010
Germany
659
Ireland
1
Lithuania
1
Netherlands
1
Russia
1
Ukraine
444687808
United Kingdom
1
United States
1208118706
Unknown Country
148232060
Files
File | Size | Format | Downloads |
---|---|---|---|
10(69)_3.doc | 2,48 MB | Microsoft Word | 1804019255 |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.