Показаны результаты 1 - 1 из 1
Год выпуска | Название | Автор(ы) | Тип | Просмотров | Загружено |
---|---|---|---|---|---|
2014 | Effect of Substrate Temperature on the Properties of PECVD SiCN Films | Porada, O.K.; Kozak, A.O.; Ivashchenko, V.I; Ivashchenkо, L.A.; Tomila, V. | Article | 1049172962 | -2058990913 |