Показаны результаты 1 - 2 из 2
Год выпуска | Название | Автор(ы) | Тип | Просмотров | Загружено |
---|---|---|---|---|---|
2013 | Effect of Added Nitrogen on Properties of SiCN Films Prepared by PECVD Using Hexamethyldisilazane | Porada, O.K.; Kozak, A.O.; Ivashchenko, L.A.; Ivashchenko, V.I.; Tomila, T.V. | Conference Papers | 242270702 | 251148292 |
2014 | Effect of Substrate Temperature on the Properties of PECVD SiCN Films | Porada, O.K.; Kozak, A.O.; Ivashchenko, V.I; Ivashchenkо, L.A.; Tomila, V. | Article | 1836567149 | 426709521 |