Please use this identifier to cite or link to this item:
http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/28538
Or use following links to share this resource in social networks:
Tweet
Recommend this item
Title | Математическая модель процесса ионной имплантации |
Authors |
Sokolov, Serhii Viktorovych
![]() Щекотова, И.В. Доброжан, А.А. |
ORCID |
http://orcid.org/0000-0001-8707-4616 |
Keywords |
обробка матеріалів іонна імплантація обработка материалов ионная имплантация |
Type | Conference Papers |
Date of Issue | 2012 |
URI | http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/28538 |
Publisher | Сумський державний університет |
License | |
Citation | Соколов, C.B. Математическая модель процесса ионной имплантации [Текст] / C.B. Соколов, И.В. Щекотова, А.А. Доброжан // Сучасні інформаційні системи і технології : матеріали Першої міжнародної науково-практичної конференції, м. Суми, 15-18 травня 2012 р. / Ред.кол.: А.С. Довбиш, О.А. Борисенко, І.В. Баранова. — Суми : СумДУ, 2012. — С. 27-28. |
Abstract |
Одним из современных методов поверхностной обработки материалов
высокоэнергетическими частицами является ионная имплантация. Этот метод не зависит от
пределов химической растворимости и концентрации материла примеси на поверхности
кристалла, а также от температуры в процессе имплантации
При цитировании документа, используйте ссылку http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/28538 |
Appears in Collections: |
Наукові видання (ЕлІТ) |
Views
![Canada](/flags/ca.gif)
1
![China](/flags/cn.gif)
-1700208203
![Denmark](/flags/dk.gif)
1
![France](/flags/fr.gif)
748685450
![Germany](/flags/de.gif)
10206297
![Greece](/flags/gr.gif)
1
![Iran](/flags/ir.gif)
1
![Ireland](/flags/ie.gif)
4978900
![Lithuania](/flags/lt.gif)
1
![Morocco](/flags/ma.gif)
1
![Netherlands](/flags/nl.gif)
4624
![Russia](/flags/ru.gif)
15
![Turkey](/flags/tr.gif)
6
![Ukraine](/flags/ua.gif)
133399624
![United Kingdom](/flags/gb.gif)
66713628
![United States](/flags/us.gif)
291730837
![Unknown Country](/flags/--.gif)
133399623
Downloads
![A1](/flags/a1.gif)
1
![Azerbaijan](/flags/az.gif)
2
![Belarus](/flags/by.gif)
10
![China](/flags/cn.gif)
3
![Croatia](/flags/hr.gif)
1
![France](/flags/fr.gif)
66713626
![Germany](/flags/de.gif)
10206298
![Ireland](/flags/ie.gif)
1
![Kazakhstan](/flags/kz.gif)
1
![Kyrgyzstan](/flags/kg.gif)
1
![Netherlands](/flags/nl.gif)
1
![Romania](/flags/ro.gif)
1
![Russia](/flags/ru.gif)
66713629
![Ukraine](/flags/ua.gif)
399982697
![United Kingdom](/flags/gb.gif)
1
![United States](/flags/us.gif)
748685449
![Unknown Country](/flags/--.gif)
498
![Uzbekistan](/flags/uz.gif)
20412585
Files
File | Size | Format | Downloads |
---|---|---|---|
implantation.pdf | 310,21 kB | Adobe PDF | 1312714805 |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.