Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/35955
Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item
Title Multiangular and Spectral Ellipsometry for Semiconductor Nanostructures Classification
Other Titles Класифікація мультикутової та спектральної еліпсометрії для напівпровідникових наноструктур
Классификация мультиугловой и спектральной эллипсометрии для полупроводниковых наноструктур
Authors Goloborodko, A.A.
Epov, M.V
Robur, L.Y
Rodionova, T.V.
Keywords Polysilicon film
Spectral ellipsometry
Reflection coefficient
Refraction index
Absorption index
Полікремнієва плівка
Спектральна еліпсометрія
Коефіцієнт відбиття
Показник заломлення
Показник поглинання
Поликремниевая пленка
Спектральная эллипсометрия
Коеффициент отражения
Показатель преломления
показатель поглощения
Type Article
Date of Issue 2014
URI http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/35955
Publisher Sumy State University
License
Citation A.A. Goloborodko, M.V. Epov, L.Y. Robur, T.V. Rodionova, J. Nano- Electron. Phys. 6 No 2, 02002 (2014)
Abstract Досліджені можливості багатопараметричного визначення напівпровідникових наноструктур на основі спектральних залежностей поляризованого випромінювання коефіцієнта відбиття Rp, Rs від кута падіння в діапазоні 200-800 нм. Експериментальні дані показали високі коефіцієнти чутливості відбивання кутової залежності від типу полікристалічних структур. Наявність додаткових спектральних екстремумів в залежності від заломлення і поглинання може бути пов'язане з розміром зерен по- лікристалічної структури і типу меж зерен. Показана можливість багатопараметричного дослідження. оптичних властивостей і товщини напівпровідникових шарів на кремнієвій підкладці. При цитуванні документа, використовуйте посилання http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/35955
Исследованы возможности многопараметрического определения полупроводниковых нанострук- тур на основе спектральных зависимостей поляризованного излучения коэффициента отражения Rp, Rs от угла падения в диапазоне 200-800 нм. Экспериментальные данные показали высокие коэффициенты чувствительности отражения угловой зависимости от типа поликристаллических структур. Наличие дополнительных спектральных экстремумов в зависимости от преломления и поглощения может быть связано с размером зерен поликристаллической структуры и типа границ зерен. Показана возможность многопараметрического исследования оптических свойств и толщины полупроводниковых слоев на кремниевой подложке. При цитировании документа, используйте ссылку http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/35955
The possibilities of multiparameter determination of semiconductor nanostructures based on spectral dependencies of polarized radiation reflection coefficient Rp, Rs on the incidence angle in the range of 200- 800 nm are investigated. Experimental data have shown high sensitivity of reflection coefficients angular dependence to the type of polycrystalline structures at the same film thickness. The presence of additional extremums in spectral dependence of refraction and absorption indexes is detected; this could be connected with grain size of polycrystalline structure and type of grain boundaries. The possibility of multiparameter optical research of properties and thickness of semiconductor layers on Si substrate is shown. When you are citing the document, use the following link http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/35955
Appears in Collections: Журнал нано- та електронної фізики (Journal of nano- and electronic physics)

Views

Canada Canada
1
China China
56
Czechia Czechia
2
France France
14643
Georgia Georgia
1
Germany Germany
5
Greece Greece
676468
Italy Italy
1
Kazakhstan Kazakhstan
1
Lithuania Lithuania
1
Moldova Moldova
2
Netherlands Netherlands
14647
Russia Russia
21
Spain Spain
1
Turkey Turkey
3
Ukraine Ukraine
1465
United Kingdom United Kingdom
144724
United States United States
6619954
Unknown Country Unknown Country
5089772
Vietnam Vietnam
676470

Downloads

China China
24
Germany Germany
2
Greece Greece
13
Iran Iran
1
Lithuania Lithuania
1
Russia Russia
1
Ukraine Ukraine
1263
United Kingdom United Kingdom
1
United States United States
2
Unknown Country Unknown Country
89
Vietnam Vietnam
1

Files

File Size Format Downloads
Multiangular and Spectral Ellipsometry.pdf 364,73 kB Adobe PDF 1398

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.