Будь ласка, використовуйте цей ідентифікатор, щоб цитувати або посилатися на цей матеріал:
http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/3912
Використовуйте наступні посилання для розповсюдження матеріалу в соціальних мережах:
Tweet
Рекомендувати цей матеріал
Назва | Application of focused charge‐particle beams of in manufacturing of nanocomponents |
Автори |
Воробйов, Геннадій Савелійович
Ponomarev, А.G. Ponomareva, А.А. Дрозденко, Олексій Олександрович Rybalko, А.А. |
ORCID |
http://orcid.org/0000-0002-0047-739X |
Ключові слова |
manufacturing focused beam nanoelectronics beam litography |
Вид документа | Стаття |
Дати випуску | 2010 |
URI (Уніфікований ідентифікатор ресурсу) | http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/3912 |
Видавець | Telecommunications and Radio Engineering |
Ліцензія | |
Бібліографічний опис | Application of focused charge-particle beams of in manufacturing of nanocomponents[Текст] /G.S.Vorobyov, А.G.Ponomarev, А.А.Ponomareva [та ін.] // Telecommunications and Radio Engineering. — 2010. — №69(4). — pp. 355-365 |
Короткий огляд (реферат) |
Application of focused beams of medium energy light ions, electrons and low energy heavy ions is considered for the technology of manufacturing of small-dimension components. Physical principles applied as the basis for interaction of the above beams with resistive materials are described. The proton beam lithography is considered as a new technology possessing high potential capabilities for various applications like micro-optics and nanoelectronics of terahertz wave band.
When you are citing the document, use the following link http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/3912 |
Розташовується у зібраннях: |
Наукові видання (ЕлІТ) |
Views
Belgium
1
Canada
1
China
-30103391
Czechia
1
France
2
Germany
1066224244
Greece
1
Hungary
1
Iran
1
Ireland
7004192
Italy
1
Japan
1
Lithuania
1
Netherlands
40939
Russia
18
Singapore
-983810766
Sweden
1
Turkey
4
United Kingdom
29882345
United States
-758793569
Unknown Country
67537938
Vietnam
703725
Україна
67537939
Downloads
Canada
1
China
-758793568
Denmark
1
France
21945360
Germany
-983810767
India
2340239
Ireland
14008376
Italy
1
Japan
-758793566
Lithuania
1
Portugal
1
Russia
10
Singapore
1
South Africa
1
South Korea
1
United Kingdom
21945358
United States
-983810764
Unknown Country
-533776369
Vietnam
1
Україна
67537940
Files
Файл | Розмір | Формат | Downloads |
---|---|---|---|
Application of focused charge-particle beams of in manufacturing of nanocomponents .pdf | 1.04 MB | Adobe PDF | 403759554 |
Усі матеріали в архіві електронних ресурсів захищені авторським правом, всі права збережені.