Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/40922
Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item
Title Оптичні властивості одношарових плівок Co, Fe і Cu
Authors Kostenko, Maksym Volodymyrovych
Demydenko, Maksym Hennadiiovych
ORCID
Keywords багатошарова плівкова структура
многослойная пленочная структура
multilayer film structure
оптичний метод еліпсометрії
оптический метод эллипсометрии
optical method ellipsometry
Type Conference Papers
Date of Issue 2015
URI http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/40922
Publisher Сумський державний університет
License
Citation Костенко, М.В. Оптичні властивості одношарових плівок Co, Fe і Cu [Текст] / М.В. Костенко, М.Г. Демиденко; кер. І.В. Чешко // Фізика, електроніка, електротехніка: матеріали та програма науково-технічної конференції, м. Суми, 20-25 квітня 2015 р. / Відп. за вип. С.І. Проценко. — Суми: СумДУ, 2015. — С. 120.
Abstract При досліджені фізичних властивостей нанорозмірних багатошарових плівкових структур важливо знати товщини окремих шарів. Зазвичай їх визначають в процесі конденсації методом кварцового резонатора. Після завершення конденсації можна легко визначити загальну товщину плівкової системи, а такий структурний параметр як товщина окремого шару можна визначити руйнівними методами або неруйнівними методами рентгенівської рефлектометрії або еліпсометрії.
Appears in Collections: Наукові видання (ЕлІТ)

Views

Canada Canada
2
France France
2
Germany Germany
4
Greece Greece
2664
India India
1
Ireland Ireland
18147
Lithuania Lithuania
1
Russia Russia
1
Turkey Turkey
1
Ukraine Ukraine
225078
United Kingdom United Kingdom
115203
United States United States
88898
Unknown Country Unknown Country
13

Downloads

China China
88898
France France
1
Germany Germany
2
India India
1
Ireland Ireland
1
Japan Japan
1
Lithuania Lithuania
1
Russia Russia
1
Ukraine Ukraine
450015
United Kingdom United Kingdom
5328
United States United States
450015
Unknown Country Unknown Country
6

Files

File Size Format Downloads
Kostenko_optical method ellipsometry.pdf 259.59 kB Adobe PDF 994270

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.