Please use this identifier to cite or link to this item:
http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/43545
Or use following links to share this resource in social networks:
Tweet
Recommend this item
Title | Влияние отжига на структуру многослойных пленочных композицій С/Si |
Authors |
Журавель, И.А.
Бугаев, Е.А. Конотопский, Л.Е. Зубарев, Е.Н. Севрюкова, В.А. Кондратенко, В.В. |
ORCID | |
Keywords |
багатошарові плівкові покриття многослойные пленочные покрытия multilayer film coating |
Type | Conference Papers |
Date of Issue | 2013 |
URI | http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/43545 |
Publisher | Сумский государственный университет |
License | |
Citation | Влияние отжига на структуру многослойных пленочных композицій С/Si [Текст] / И.А. Журавель, Е.А. Бугаев, Л.Е. Конотопский и др. // Фізика, електроніка, електротехніка : матеріали та програма науково-технічної конференції, м. Суми, 22-27 квітня 2013 р. / Відп. за вип. С.І. Проценко. - Суми : СумДУ, 2013. - С. 61. |
Abstract |
Многослойные пленочные композиции C/Si могут использоваться в качестве высокоразрешающих отражающих покрытий для диапазона длин волн 17 – 35 нм. Также эта система эффективна и в других сферах применения – низкотемпературном синтезе карбида кремния и изготовления антифрикционных покрытий. Подробное исследование структурных преобразований в многослойной композиции является важным для всех вышеуказанных сфер. |
Appears in Collections: |
Наукові видання (ЕлІТ) |
Views
![Canada](/flags/ca.gif)
1
![France](/flags/fr.gif)
1
![Germany](/flags/de.gif)
4
![Greece](/flags/gr.gif)
1
![Ireland](/flags/ie.gif)
539
![Lithuania](/flags/lt.gif)
1
![Ukraine](/flags/ua.gif)
18840
![United Kingdom](/flags/gb.gif)
2687
![United States](/flags/us.gif)
10360
![Unknown Country](/flags/--.gif)
5
Downloads
![China](/flags/cn.gif)
1
![Germany](/flags/de.gif)
2
![Ireland](/flags/ie.gif)
1
![Lithuania](/flags/lt.gif)
1
![Russia](/flags/ru.gif)
1
![Ukraine](/flags/ua.gif)
10360
![United Kingdom](/flags/gb.gif)
1
![United States](/flags/us.gif)
18840
![Unknown Country](/flags/--.gif)
1
Files
File | Size | Format | Downloads |
---|---|---|---|
Kondratenko_film_coating.pdf | 318,62 kB | Adobe PDF | 29208 |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.