Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/64519
Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item
Title Изготовление полупроводниковых диодов с применением слоев пористого анодного окисла кремния
Authors Фролов, А.Н.
Самойлов, Н.А.
Марончук, А.И.
ORCID
Keywords полупроводниковый диод
напівпровідниковий діод
semiconductor diode
кремний
кремній
silicon
мезаструктура
mezastructure
Type Conference Papers
Date of Issue 2017
URI http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/64519
Publisher Сумский государственный университет
License
Citation Фролов, А.Н. Изготовление полупроводниковых диодов с применением слоев пористого анодного окисла кремния [Текст] / А.Н. Фролов, Н.А. Самойлов, А.И. Марончук // Фізика, електроніка, електротехніка : матеріали та програма науково-технічної конференції, м. Суми, 17-21 квітня 2017 р. / Відп. за вип. С.І. Проценко. – Суми : СумДУ, 2017. – С. 121.
Abstract Слои окисла кремния применятся в качестве защитных слоев над выходом p-n переходов на планарную поверхность полупроводниковых устройств, а также имеют хорошие маскирующие свойства при диффузии примесей. Существующие методы создания слоев окисла кремния обладают своими различными достоинствами и недостатками при применении в технологии производства полупроводниковых приборов.
Appears in Collections: Наукові видання (ЕлІТ)

Views

Argentina Argentina
1
Germany Germany
2289
Greece Greece
1
Ireland Ireland
4580
Lithuania Lithuania
1
Netherlands Netherlands
208
Ukraine Ukraine
33095
United Kingdom United Kingdom
16756
United States United States
369258
Unknown Country Unknown Country
459284

Downloads

China China
1
Germany Germany
1
Lithuania Lithuania
1
Netherlands Netherlands
1
Ukraine Ukraine
33096
United Kingdom United Kingdom
1
United States United States
369257
Unknown Country Unknown Country
5

Files

File Size Format Downloads
Frolov_yzghotovlenye.pdf 411.77 kB Adobe PDF 402363

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.