Исследование процессов синтеза слоев в системе ZnO–SnO2

Абдуев, А.Х.; Ахмедов, А.К.; Асваров, А.Ш.

Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/71641

Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item

Title	Исследование процессов синтеза слоев в системе ZnO–SnO2
Other Titles	Study of ZnO–SnO2 Thin Film Growth Processes
Authors	Абдуев, А.Х. Ахмедов, А.К. Асваров, А.Ш.
ORCID
Keywords	оксид цинка оксид олова тонкая пленка магнетронное распыление стехиометрия ZnO SnO2 thin film magnetron sputtering stoichiometry
Type	Article
Date of Issue	2018
URI	http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/71641
Publisher	Сумский государственный университет
License
Citation	Абдуев, А.Х. Исследование процессов синтеза слоев в системе ZnO-SnO[2] / А.Х. Абдуев, А.К. Ахмедов, А.Ш. Асваров // Журнал нано- та електронної фізики. - 2018. - Т.10, № 6. - 06020. - DOI: 10.21272/jnep.10(6).06020
Abstract	Исследованы процессы синтеза слоев на основе твердых растворов ZnO–SnO2 при магнетронном распылении металлической мишени Zn–Sn, керамической мишени ZnO–SnO2 и металлокерамической мишени (ZnO–SnO2) + 10 вес.% (Sn–Zn). Показано, что магнетронное распыление мишеней Zn–Sn и (ZnO–SnO2) + 10 вес.% (Sn–Zn) может сопровождаться формированием периодических структур в результате периодического изменения состава поверхностных слоев распыляемой мишени в зоне эрозии мишеней. The processes of magnetron synthesis of ZnO–SnO2-based films by the magnetron sputtering of metal (Zn–Sn), ceramic (ZnO–SnO2) and composite (ZnO–SnO2 + 10wt.% Zn–Sn) targets were studied. It is shown that during magnetron sputtering of the metal and composite targets a multy-layered structure can be formed due to periodic changes in the composition of the sputtered target surface in the erosion zone.
Appears in Collections:	Журнал нано- та електронної фізики (Journal of nano- and electronic physics)