Please use this identifier to cite or link to this item: https://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/77138
Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item
Title Production, Structure and Properties of Coatings Based on Al2O3 Obtained by Magnetron Method
Other Titles Отримання, структура і властивості покриттів на основі Al2O3, отримані магнетронним методом
Authors Kolesnikov, D.А.
Sudzhanskaya, I.V.
Goncharov, I.Yu.
Lytovchenko, S.V.
Novikov, V.Yu.
Kudryavtsev, Е.А.
Mazilin, B.O.
Krytsyna, Е.V.
Beresnev, V.M.
Glukhov, O.V.
Keywords магнетроне осадження
багатошарові оксидні покриття
структура
magnetron by sputtering
multilayer oxide coatings
structure
Type Article
Date of Issue 2020
URI https://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/77138
Publisher Sumy State University
License
Citation Production, Structure and Properties of Coatings Based on Al[2]O[3] Obtained by Magnetron Method [Текст] / D.А. Kolesnikov, I.V. Sudzhanskaya, I.Yu. Goncharov [et al.] // Журнал нано- та електронної фізики. – 2020. – Т. 12, № 1. – 01022. – DOI: 10.21272/jnep.12(1).01022.
Abstract Нанесення покриттів Al2O3 та багатошарових покриттів Al2O3/ZrO2 здійснювали магнетронним методом шляхом розпилення відповідних металевих мішеней в середовищі суміші газів кисню та аргону. Мікроструктура поперечних зрізів, визначення товщини і елементний склад отриманих покриттів досліджували методом трансмісійної та растрової електронної мікроскопії. Морфологія поверхні зразків покриттів Al2O3 вивчалася методом скануючої зондової мікроскопії. Показано, що сформовані покриття як Al2O3, так і багатошарове покриття Al2O3/ZrO2 мають стовпчасту структуру з орієнтацією стовпців перпендикулярно поверхні. Стовпчаста структура багатошарових покриттів не порушується при переході від шару до шару. Поверхня покриттів складається з глобул діаметром близько 20 нм. Методом імпедансної спектрометрії встановлено, що покриття Al2O3 має діелектричні властивості. Таким чином, було показано, що магнетронним методом можна наносити якісні багатошарові діелектричні покриття, які можуть бути використані в якості термобар’єрних покриттів для захисту лопаток високотемпературних щабель турбін авіаційних двигунів.
Al2O3 and Al2O3/ZrO2 multilayer coatings were deposited by the magnetron method by sputtering the corresponding metal targets in a mixture of oxygen and argon gases. The microstructure of the cross sections to determine the thickness and elemental composition of the obtained coatings was studied by transmission and scanning electron microscopy. The surface morphology of Al2O3 coating samples was studied by scanning probe microscopy. It is shown that the formed Al2O3 coating and the Al2O3/ZrO2 multilayer coating have a columnar structure with the columns oriented perpendicular to the surface. The columnar structure of multilayer coatings is not violated during the transition from layer to layer. The coating surface consists of globules with a diameter of about 20 nm. It was found that the Al2O3 coating has dielectric properties using the method of impedance spectrometry. Thus, it was shown that the magnetron method can be used to apply high-quality multilayer dielectric coatings, which can be used as thermal barrier coatings to protect the blades of high-temperature stages of aircraft engine turbines.
Appears in Collections: Журнал нано- та електронної фізики (Journal of nano- and electronic physics)

Views

Canada Canada
1
China China
1
France France
1
Germany Germany
1
Lithuania Lithuania
1
Netherlands Netherlands
1
Ukraine Ukraine
222
United Kingdom United Kingdom
1
United States United States
758
Vietnam Vietnam
380

Downloads

Germany Germany
378
Ukraine Ukraine
67
United Kingdom United Kingdom
1
United States United States
759
Vietnam Vietnam
1

Files

File Size Format Downloads
Kolesnikov_jnep_2020_1.pdf 365,34 kB Adobe PDF 1206

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.