Properties Evolution of Ion-plasma Coatings on the Base of Transition Metal Nitrides

Abstract

Визначаються деякі закономірності формування покриттів на основі нітридів перехідних металів, отриманих вакуумно-дуговим методом. Покриття формувалися із застосуванням ВЧ імпульсної стимуляції підкладинки. З метою усунення крапельної фракції застосовувалася сепарація іонноплазмового потоку. Для визначення фізико-механічних властивостей покриттів у роботі використовувалася растрова електронна мікроскопія і метод наноіндентування. Морфологія поверхні покриттів аналізувалася із застосуванням електронно-іонного мікроскопа. Еволюція фізико-механічних властивостей покриттів визначається фізичними параметрами осадження. Склад катодів, що розпорошуються; тиск реакційного газу; потенціал зміщення, який подається на підкладинку, визначають структурно-фазовий стан отриманих покриттів і, тим самим, їх фізико-технічні характеристики. Застосування кремнію як легуючого елемента дозволяє формувати міжкристалітний шар Si3N4. Сегрегація аморфної або квазіаморфної речовини в міжкристалітний простір визначає композитну структуру в покритті. Композитні покриття характеризуються досконалішими фізико-механічними властивостями. Отримані в роботі нанокомпозитні покриття досягають стану надтвердих покриттів (53 ГПа) і високих значень модуля пружності (430 ГПа). При певних умовах формування покриття набувають текстурованого стану. Проаналізована ступінь зміни розмірів областей когерентного розсіювання від умов осадження. Встановлено, що оптимальне управління фізичними параметрами осадження дозволяє формувати іонно-плазмові захисні покриття з програмованими властивостями.

Some regularities of formation of coatings on the basis of nitrides of transition metals obtained by vacuum-arc method are determined. The coatings were formed using RF pulse stimulation of the substrate. In order to eliminate the droplet fraction, ion-plasma flow separation was used. To determine the physical and mechanical properties of the coatings, scanning electron microscopy and the nanoindentation method were used. The surface morphology of the coatings was analyzed using an electron-ion microscope. The evolution of physical and mechanical properties of the coatings was determined by the physical parameters of deposition. The composition of the sprayed cathodes, reaction gas pressure, the displacement potential applied to the substrate determine the structural and phase state of the obtained coatings and, thus, their physical and technical characteristics. The use of silicon as an alloying element allows to form an intercrystalline layer of Si3N4. Segregation of amorphous or quasiamorphic matter in the intercrystalline space determines the composite structure of the coating. Composite coatings are characterized by more advanced physical and mechanical properties. The nanocomposite coatings obtained in the work reach the state of superhard coatings (53 GPa) and high values of the modulus of elasticity (430 GPa). Under certain conditions, the formation of the coating acquires a textured state. The degree of change in the size of the coherent scattering regions from the deposition conditions is analyzed. It is established that the optimal control of the physical parameters of deposition allows to form ion-plasma protective coatings with programmable properties.