Please use this identifier to cite or link to this item: https://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/84523
Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item
Title Особливості процесу фотолітографії як базової інтегральної технології
Other Titles Photolithography features as a basis integral technology
Authors Проноза, А.О.
ORCID
Keywords Фотолітографія
Фотолитография
Photolithography
Фоторезист
Photoresist
Шаблон
Template
Моделювання
Моделирование
Simulation
Silvaco TCAD
ATLAS
ATHENA
OPTOLIT
Type Bachelous Paper
Date of Issue 2021
URI https://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/84523
Publisher Сумський державний університет
License Copyright not evaluated
Citation Проноза А.О. Особливості процесу фотолітографії як базової інтегральної технології [Текст]: робота на здобуття кваліфікаційного ступеня бакалавра; спец. 171 – Електроніка / А.О. Проноза; наук. кер. І.П. Бурик. – Суми: СумДУ, 2021. – 37 с.
Abstract Об’єктом дослідження кваліфікаційної роботи є вивчення особливостей процесу фотолітографії як базової інтегральної технології. Мета роботи полягає у вивченні методики комп’ютерного моделювання фотолітографічних процесів та їх застосування при виготовлені елементів електроніки. Робота складається із вступу, трьох розділів основної частини та висновків. У першому розділі наведено основні різновиди способів літографії їх поняття типи фоторезистів, а також методи для підвищення якості формування зображення під час проектування елементів інтегральних мікросхем. У другому розділі розглядається основний функціонал програмного середовища TCAD Silvaco, що використовується для моделювання процесу літографії, а також додаткові пакети які розширюють функціонал даного продукту. У третьому розділі були успішно спроектовані структурні моделі n-канального MOSFET транзистора з використанням 60 нм процесу літографії з довжиною затвора 20 нм, а також моделювання непланарної оптичної літографії.
Appears in Collections: Кваліфікаційні роботи здобувачів вищої освіти (КІ)

Views

China China
405
Czechia Czechia
1
Germany Germany
390748962
Greece Greece
921
Ireland Ireland
40291
Lithuania Lithuania
1
Poland Poland
1
Singapore Singapore
1
Sweden Sweden
1
Ukraine Ukraine
81982438
United Kingdom United Kingdom
3152911
United States United States
390748960
Unknown Country Unknown Country
1

Downloads

Austria Austria
50041066
Belgium Belgium
96
Canada Canada
1
Czechia Czechia
220395010
Finland Finland
1
France France
220395013
Germany Germany
390748963
India India
1
Ireland Ireland
40292
Lithuania Lithuania
1
Netherlands Netherlands
28746828
Poland Poland
220395010
Romania Romania
1
Sweden Sweden
98
Ukraine Ukraine
220395011
United Kingdom United Kingdom
220395011
United States United States
305571987

Files

File Size Format Downloads
Pronoza_Photolithography_features.pdf 2.2 MB Adobe PDF 1877124390

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.