Please use this identifier to cite or link to this item:
https://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/84577
Or use following links to share this resource in social networks:
Tweet
Recommend this item
Title | Особливості процесу пошарового нанесення матеріалів як базової інтегральної технології |
Other Titles |
Layer-by-layer deposition features as a basis integral technology |
Authors |
Ткаченко, О.В.
|
ORCID | |
Keywords |
пошарове нанесення матеріалів послойное нанесение материалов layer-by-layer deposition of materials технологічний процес технологический процесс technological process елементи інтегральних мікросхем элементы интегральных микросхем elements of integrated circuits |
Type | Bachelous Paper |
Date of Issue | 2021 |
URI | https://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/84577 |
Publisher | Сумський державний університет |
License | Copyright not evaluated |
Citation | Ткаченко, О.В. Особливості процесу пошарового нанесення матеріалів як базової інтегральної технології [Текст]: робота на здобуття кваліфікаційного ступеня бакалавра; спец.: 171 – електроніка / О.В. Ткаченко; наук. кер. І.П. Бурик. – Суми: СумДУ, 2021. – 32 с. |
Abstract |
Об’єктом дослідження кваліфікаційної роботи є процес нанесення матеріалів для виготовлення елементів мікроелектроніки.
Мета роботи полягає у дослідженні впливу умов нанесення матеріалів на формування структури елементів електроніки при використанні комп’ютерного моделювання.
Робота складається із вступу, трьох розділів основної частини та висновків. У першому розділі наведено огляд методів нанесення матеріалів, які використовуються для виготовлення елементів інтегральних мікросхем. У другому розділі розглядається методика комп’ютерного моделювання процесу пошарового нанесення матеріалів за допомогою програмного пакету Silvaco TCAD. У третьому розділі наведено результати моделювання селективного та неселективного нанесення кремнію, а також односпрямованого осадження плівок на поверхню структури. |
Appears in Collections: |
Кваліфікаційні роботи здобувачів вищої освіти (КІ) |
Views
China
1
Côte d’Ivoire
1
Germany
64425
Greece
832
Ireland
3089
Lithuania
1
Netherlands
117
Sweden
415
Ukraine
524250
United Kingdom
151787
United States
2386564
Unknown Country
1
Downloads
Czechia
1
France
2386563
Germany
2386563
Ireland
1
Lithuania
1
Netherlands
64430
Poland
1
Romania
1
Ukraine
3131484
United Kingdom
64426
United States
3131484
Unknown Country
3131484
Files
File | Size | Format | Downloads |
---|---|---|---|
Tkachenko_bac_rob.pdf | 1,33 MB | Adobe PDF | 14296439 |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.